Устройство для градуировки тензорезисторов Советский патент 1986 года по МПК G01B7/16 

fl

1226959

Изобретение относится к измерительной технике и может быть исполь зовано для прецизионной градуировки тензорезисторов, закрепляемых на градуировочной балке.

Целью изобретения является повышение точности градуировки.

На чертеже представлена кинематическая схема устройства.

Устройство для градуировки тензорезисторов содержит основание 1 с четырьмя шарнирными опорами 2-5-, две идентичные градуировочные балки 6 и 7, каждая из которых установлена на двух шарнирнь1х опорах (например, опоры 2 и 3 - для балки 6 и опоры 4 и 5 - для балки 7), четыре тяги 8-11, каждая из которых соединена соответственно с одним концом одной из балок 6 или 7, нагружающий механизм (на чертеже не показан соединентгй со всеми тягами 8-11, две подпружиненные вставки 12 и 13, два уголковых отражателя 14 и 15, каждый из которых закреплен в серед не соответствующей вставки 12 или 13, и лазерный интерферометр (на чертеже не показан), предназначенный для взаимодействия с уголковыми отражателями 14 и 15.

Балки 6 и 7 установлены на опора 2-5 так, что их продольные оси паралельны одна другой. Вставки 12 и 13 установлены между балками 6 и 7 перпендикулярно их продольным осям.

Устройство работает следующим образом.

Составитель Н. Тимошенко Редактор Т. Иванова Техред и.Попович Корректор О. Луговая

гт imi ti - i- IL- Jij.

Заказ 6497/3 Тираж 670Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

5

0

5

0

5

При деформации балок 6 и 7 одинаковым изгибающим моментом, создаваемым тягами 8-11, точки контакта ба-- лок 6 и 7 и вставок 12 и 13 перемещаются в пространстве так, что точки, принадлежащие разным балкам, сближаются, сжимая подпружиненные вставки 12 и 13, а точки, принадлежащие одной балке, расходятся одна от другой на величину линейной деформации, созданной на обращенных одна к другой поверхностях балок 6 и 7. Это расхождение вызывает такое же по величине взаимное перемещение уголковых отражателей 14 и 15, измеряемое по обычной схеме лазерным интерферометром.

Предлагаемое устройство позволяет измерять непосредственно линейную деформацию градуировочных балок в абсолютных единицах измерения и с высокой точностью. Для перехода к значениям относительной деформации используют отношение измеренной абсолютной деформации к начальному расстоянию между точками контакта двух вставок 12 и 13 с одной и той же балкой 6 или 7. Разрешающая способность устройства составляет около 0,01 мкм. Использование этого устройства для градуировки опытных партий разрабатьшаемых тензорезисторов позволит более точно контролировать отклонения абсолютной чувствительности тензорезисторов в партии и тем j самым повысить качество вьшускаемых тензорезисторов.