Способ замера толщины покрытий Советский патент 1959 года по МПК G01B7/06 G01D5/243 

Спо.собы замера толщины покрытий посредством устройств, содержащих индуктивный датчик и высокочастотный генератор, измеряющий толщину покрытия по изменению напряжения, известны.

Отличительная особенность предлагаемого способа заключается в том, что для одновременного измерения двух параметров, например, толщины покрытия и прослойки или толщины покрытия и его проводимости, дополнительно измеряют частоту и по величинам частоты и напряжения определяют контролируемые параметры; определение последних осуществляется на основании заранее построенных кривых экспериментальных зависимостей напряжения и частоты от изменения этих параметров.

На фиг. 1 изображены кривые изменения частоты и напряжения высокочастотного генератора; на фиг. 2 - принципиальная схема устройства для осуществления описываемого способа; на фиг. 3 - кривые, полученные посредством этого устройства.

Ниже в качестве примера описывается способ, дающий возможность без разрушения изделия измерять толщину никелевых покрытий и медной прослойки. Способ этот основан на том, что изменение частоты и напряжения генератора, в резонансный контур которого включен измерительный датчик (катущка на ферритовом сердечнике), зависит от толщины покрытия и прослойки на контролируемом изделии. Эта зависимость связана с возникновением вихревых токов на поверхности. Вихревые токи влияют на электрические свойства датчика, а изменение последних вызывает изменение частоты и напряж;ения генератора.

На фиг. 1 показана -кривая О изменения частоты F и напряжения У генератора при нулевой толщине прослойки в зависимости от изменения толщины никелевого покрытия от О до толщины большей глубины проникновения электромагнитного поля, созданного датчиком, 5, 10, 15 - аналогичные кривые для прослоек толщиной 5 м, 10 м, и

№ 122879- 2 -

15 м. Устройство, схема которого изображена на фиг. 2, состоит в основном из генератора, резонансного контура, чувствительного к изменениям частоты генератора, прибора /, измеряющего напряжение генератора, и регистрирующего изменения частоты последнего прибора 2. Посредством этого устройства сняты кривые, представленные на фиг. 3. Кривые эти сняты следующим образом. Определялись показания приборов Vi и 1/2 для прослоек толщиной О ж 5 м, 10 м, 20 м, 30 м и 40 м с никелевым покрытием толщиной Ом, 10 м, 20 ж и 30 м. Соответствующие точки соединялись кривыми. При этом жирные кривые показывают расположение точек для случая, когда изменяется толщина покрытия никеля при определенной толщине прослойки меди. Измерепие толщины никеля и медной прослойки осуществляют в следующей последовательности. На контролируемое изделие с двуслойным покрытием устанавливают измерительный датчик. Отсчитывают показания приборов / и 2 и полученную точку отмечают на координатной сетке.

Расположение этой точки указывает соответствующие толщины никелевого покрытия и просло&ки.

Предмет изобретения

Способ замера толщины покрытий посредством индуктивного датчика и высокочастотного генератора, измеряющего толщину покрытия по изменению напряжения, отличающийся тем, что, с целью одновременного измерения двух параметров, например, толщины покрытия и прослойки или толщины покрытия и его проводимости, дополнительно измеряют частоту и по величинам частоты и напряжения определяют контролируемые параметры на основании заранее построенных экспериментальных зависимостей напряжения и частоты от изменения этих параметров.

500

О Ю 20 30 ftO 50 V, Фиа i

н-IIfe-и

е.