Моечная головка Советский патент 1986 года по МПК B08B3/02 

Ф(г.1

Изобретение относится к очистке поверхности изделий, а И1менно к мойке деталей из различных материалов и может быть применено в электронной, радиоэлектронной, медицинской и других отраслях промышленности.

Целью изобретения является повышение качества мойки.

На фиг. 1 изображена моечная головка, обш,ий вид; на фиг. 2 - то же, разрез; на фиг. 3 - вид корпуса моечной головки; на фиг. 4 - разрез А-А на фиг. 3; на фиг. 5 - разрез Б-Б на фиг. 3; на фиг. 6 - разрез В-В на фиг. 5; на фиг. 7 и 8 - челночные клапаны, обш,ий вид.

Моечная головка имеет корпус 1, в котором выполнены распределительные каналы для подачи кислоты 2 (или другого химического реагента), воды на промывку 3 и газа 4. В распределительных каналах 2 и 3 выполнены клапанные полости с размещенными в них челночными клапанами 5 и 6. Клапанные полости в распределительных каналах подачи химического реактива и воды протоками 7 соединены с каналом 8 подачи сжатого газа, а в корпусе 1 выполнены отверстия 9, выходящие наружу и сообщающиеся с распределительными каналами при переключении челночных клапанов.

Корпус 1 подсоединен к распределительной головке (не показана), которая связана с магистралями подачи химреактива, воды и газа. В корпусе 1 выполнена выемка 10, которая посредством сопловых отверстий 11 и 12 сообщается с распределительными каналами 2 и 3. С распределительным каналом 3 связана форсунка 13 через сопло- вый канал 12 для подачи воды в виде аэрозоли. Протоки 7 соединены с дополнительным каналом 14 подачи газа.

Корпус 1 моечной головки жестко закреплен на крыщке 15 камеры 16, имеющей кожух 17. Поверхность камеры 16 футерована защитным покрытием 18, стойким к агрессивным средам. Внутри камеры 16 размещен держатель 19 изделий в виде центрифуги, выполненный из материала, стойкого к агрессивным средам, в котором имеются гнезда 20 для установки и фиксации изделий 21. На одной из стенок камеры выполнено отверстие 22, сообщающееся с вентиляционной вытяжной системой 23. Держатель 19 изделий размещен на полом валу 24 с возможностью вращения, последний соединен с U-образным трубопроводом 25 для воды, в котором выполнены отверстия 26 для выхода воды наружу, в центр держателя, в боковые стороны камеры, на дно. Слив осуществляют через сливной патрубок 27. Вытяжная система 23 и сливной патрубок 27 снабжены форсунками 28 для их промывки. Слив для кислоты и промывочной воды внизу держателя изделий непрерывно подвергается воздействию промывочной воды по прямой и по окружности на

всей периферии стока с тем, чтобы ни одной мельчайщей капли кислоты не осталось в стоке.

Моечная головка работает следующим образом.

Обрабатываемые изделия 21, например кремниевые пластины в кассете, устанавливают в держателе 19 изделий. Крышку 15 камеры 16 закрывают и обработку ведут в закрытом объеме. Процесс обработки заключается в последовательной подаче различных химреактивов или их смесей из корпуса 1 на изделия.

При включении моечной головки через канал 8 подают азот под давлением 1 -1,5 атм. Через протоки 7 газ попадает в клапанную полость и закрывает клапаны 5 и 6, перекрывается сообщение распределительных каналов 2 и 3 с отверстиями 9. Азот, поданный под давлением, служит упругим элементом, удерживающим клапаны в закрытом положении.

Сначала по каналу 2 подают горячую деионизованную воду в камеру обработки, при этом происходит разогрев камеры 16, изделий 21 и трубопроводов. Для последующей подачи химреактива по этому каналу необходимо освободить его от воды, для чего через канал подают азот под давлением 3- 4 атм. При этом клапан в канале 2 под давлением подаваемого азота открывается и через него происходит быстрый сброс воды через отверстия 9. При снятии давления азота клапан снова закрывается. Через осушенный канал 2 подают химреактив под небольшим давлением (0,8-1,0 атм), который выходит через отверстия 11 вдоль всей длины корпуса 1 в выемку 10 и разбивается струями азота, выходящего из канала 4 через протоки 7, на мелкие капли. Получение заданной дисперсности частиц регулируется давлением азота в канале 4. В качестве реактива используют любые кислоты, щелочи или смеси кислот (щелочей). В зависимости от технологического процесса время обработки химреактивами может быть различным. Выход рабочих агентов осуществляется через отверстия 11.

При промывке и продувке азотом канала 2 подачи химреактивов клапаны 5 и 6 в клапанной полости под давлением воды из канала 3 и азота открываются, при этом открываются и отверстия 9 и обеспечивают быструю и эффектную очистку канала за счет большого диаметра отверстия 9. Основной сброс жидкости происходит через отверстия 9, что обеспечивает устранение образования застойных зон в канале 2. При прекращении подачи воды или азота клапан 5 под действием газа из канала 8 воз- вращается на место и перекрывает сообщение канала 2 и отверстия 9.

Для очистки внутренней поверхности камеры 16 и держателя 19 изделий подают

деионизованную воду в отверстия 26, расположенные на трубопроводе 25, по полому валу 24. Вентиляционная система 23 и сливной патрубок 27 промываются в этом случае жидкостью, подаваемой из форсунок 28. После этого можно подавать другой хим- реактив. При последующей подаче рабочих агентов в канал 2 выход их осуществляется только через отверстия 11.

После обработки изделий крышку 15 камеры 16 открывают и вынимают их. Цикл повторяется.

Изобретение позволяет обеспечить высокое качество обработки и высокую производительность благодаря исключению образования застойных зон в каналах подачи химреактивов и воды. За счет быстрого и эффективного сброса воды через дополнительные, а не основные отверстия также исАналогично действует клапан на рас- ю ключается образование застойных зон и со- пределительном канале подачи воды с той лищь разницей, что сначала подают воду, а затем азот. Наличие клапана позволяет исключить образование застойной зоны в канакращается время на промывку каналов. Наличие клапанных полостей с клапанами в каналах подачи воды и химреактивов позволяет значительно сократить время на промывку каналов от остатков капелек кислоты или другого реактива.

ле подачи воды, ускорить процесс сушки изделия.

1

ключается образование застойных зон и со-

кращается время на промывку каналов. Наличие клапанных полостей с клапанами в каналах подачи воды и химреактивов позволяет значительно сократить время на промывку каналов от остатков капелек кислоты или другого реактива.

27 75

/ /

27

VlAZ.l

г

4

с L I II 1 1 I I И I I I l-H-t-tA-f(

Б-6

Фиг. 6

77 .5

6 9

Шй

Фиг.1

.8