Вакуумный молекулярный насос Советский патент 1986 года по МПК F04D19/04 

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям молекулярных вакуумных насосов.

Целью изобретения является улучшение откачных характеристик насоса.

На фиг. 1 представлен насос, продольный разрез; на фиг. 2 - роторный диск с частью периферийных лопаток, общий вид.

Вакуумный молекулярный насос содержит корпус 1, размещенные в нем роторные и статорные диски 2 а 3, последние имеют на боковых поверхностях спиральные канавки 4, причем роторные диски 2 снабжены по периферии лопатками 5, расположенными под углом к их плоскости. Зазор между статорными дисками 3 образован при помощи проставочных колец 6 между ними.

12409572

которые могут быть выполнены в виде обода на периферии статорных дисков. Насос работает следующим образом. Роторные диски 2 приводятся во враще5 ние, и откачиваемый газ по спиральным канавкам 4 статорных дисков 3 перемещается сначала от центра к периферии, а затем от периферии к центру. Далее процесс повторяется на,каждой ступени откачки, и газ перемещается со стороны всасывания на сторону

нагнетания. Наличие лопаток 5 на периферии роторных дисков обеспечивает работу молекулярного насоса в этой зоне по принципу турбомолекулярного насоса. При этом обратные перетечки откачиваемого газа чеJ5 рез зазор между роторными дисками 2 и проставочными кольцами 6 в значительной мере снижаются, что приводит к улучшению откачных характеристик насоса.

(pi/e.2