Интерферометр для контроля цилиндрических поверхностей Советский патент 1987 года по МПК G01B9/02 G01B11/24 

Далее пучок лучей преломляется зеркалом 4 и цилиндрической линзой 5 собирается в плоскости щелевой диафрагмы 6. Цилиндрический объектив 7 формирует параллельный пучок и светоделителем 8 преломляется к второму цилиндрическому объективу 9, формирующему прерз етную светящуюся линию. За цилиндрическим объективом 9 расположена концентрическая цилиндрическая линза 10 выпуклей поверхностью к светоделителю 8. Вогнутая сторона концентрической цилиндрической линзы 10 является эталонной поверхностью интерферометра. Ось эталонной цилинд1

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля цилиндрических

поверхностей.

Цель изобретения - обеспечение контроля протяженных цилиндрических поверхностей с размером цилиндрической образующей до 400 мм.

На фиг. 1 изображена принципиальная схема интерферометра для контроля цилиндрических поверхностейj на фиг. 2 - вид А на фиг. 1. .

Интерферометр содержит последова- тельно установленные монохроматический источник 1 света, поляроид. 2,ци- лцндрическую телескопическую систе- 3, зеркало 4, цилищ1;рич:ескую линзу 5, щелевую диафрагму 6, цилиндри- ческий объектив 7, светоделитель 8, второй цилиндрический объектив 9 и концентрическую цилиндрическую линзу 10, регистратор 11 интерференционной картины.

Интерферометр работает следующим образом.

Пучок лучей от монохроматического источника 1 света проходит через поляроид 2, регулирующий интенсивность пучка света. С помощью цилиндрическо телескопической системы 3 сечение пучка света преобразуется в продолговатое . Далеенучок лучей преломляется зеркалом 4 и с помощью цилиндрирической поверхности интерферометра совмещается с предметной светящейся линией. Далее цилиндрический волн о- вой фронт падает на проверяемую деталь 12. Пучки, отраженные от проверяемой детали 12 и от эталонной поверхности, при совмещении интерферируют. Интерференционная картина наблюдается или фиксируется с помощью регистратора 11 интерференционной картины. Для выравнивания интерферирующих пучков по интенсивности на эталонную поверхность наносится покрытие с необходимым коэффициентом отражения. 2 ил.

ческой линзы 5 собирается в плоскости щелевой диафрагмы ё. Цилиндрический объектив 7 формирует параллельный пучок, который светоделителем 8 преломляется к второму цилиндрическому объективу 9, формирующему предметную светящуюся линию. За вторым цилиндрическим объективом 9 расположена концентрическая цилиндрическая линза 10 выпуклой поверхностью к светоделителю 8. Вогнутая сторона концентрической цилиндрической линзы 10 является эталонной поверхностью интерферометра. Ось эталонной цилиндрической поверхности интерферометра совмещается с предметной светящейся линией. Далее цилиндрический,волновой фронт падает на проверяемую де-. таль 12. Пучки отраженные от проверяемой детали 12 и от эталонной поверхности, при совмещении интерферируют. Интерференционная картина наблюдается или фиксируется с помощью регистратора 11 интерференционной картины. Для выравнивания интерферирующих пучков по интенсивности на эталонную поверхность наносится покрытие с необходимым коэффициентом отражения.

Введение за монохроматическим источником 1 света поляроида 2 позволяет регулировать яркость интерференционной картины, что улучшает условия работы, например при наблюдении глазом, позволяет ослабить яркость интрференционной картины, а при фотографировании -повысить .

Расположение за поляроидом 2 цилиндрической телескопической системы 3, а за цилиндрической линзой 5 - щелевой диафрагмы 6 обеспечивает получение протяженного промежуточного изображения источника 1 света, равномерного по интенсивности по всей длине, свободного от рассеянного све та и бликов.

Введение за щелевой диафрагмой 6 цилиндрического объектива 7, за светоделителем 8 - второго цилиндрического объектива 9 позволяет сформировать предметную светящуюся линию с требуемым увеличением без потерь света.

0

0

5

Формула изобретения

Интерферометр для контроля цилинд- рических поверхностей, содержащий последовательно установленные монохроматический источник света, зеркало, цилиндрическую линзу, светоделитель и регистрирующий блок, отличающийся- тем, что, с целью обеспечения контроля протяженных цилиндрических поверхностей с размером цилиндрической образующей до 400 мм, он снабжен поляроидом и цилиндрической телескопической системой, после- довач ельно установленными между источником света и зеркалом, щелевой диафрагмой и цилиндрическим объективом, последовательно установленными между цилиндрической линзой и светоделителем, и последовательно установленными за светоделителем вторым цилиндрическим объективом .и концентрической линзой, вогнутая поверхность которой является эталонной, а выпуклая обращена к светоделителю.

BucfA

Составитель Л.Лобзова Редактор Э.Слиган Техред М.Дидьк Корректор М.Максиьшшинец

Заказ 6146/44 Тираж 677Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений И открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб.; д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Cpuff.Z

Изобретение относится к измери- тельной технике. Цель изобретения - обеспечение контроля протяженных цилиндрических поверхностей с размером цилиндрической образующей до 400 мм. Пучок лучей от монохроматического источника 1 света проходит через поляроид 2, регулирующий интенсивность пучка света. Цилиндрической телескопической системой 3 сечение пучка света преобразуется в продолговатое. (Л со СП со о: о: со