Интерферометр для контроля формы вогнутых оптических асферических поверхностей Советский патент 1988 года по МПК G01B9/02 G01B11/24 

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для использования в оптическом производстве при контроле формы вогнутых оптических асферических поверхностей например главных зеркал телескопов. Целью изобретения является упрощение конструкции интерферометра, повышение производительности и точности контроля за счет вьшолнения объектива рабочей ветви в виде плосковогнутой и двояковыпуклой линз, упрощения процесса установки об-ьек- тива в заданное положение при наблюдении сплошной юстировочной интерференционной картины и з еньюения влияния децентрировок элементов рабочей ветви на результаты контроля.

На чертеже показана принципиальная схема интерферометра и ход лучей в нем.

Интерферометр содержит источник 1 монохроматического излучения, телескопическую систему для создания параллельного пучка лучей, состоящую из линз 2 и 3, светоделитель 4 для разделения излучения на две ветви, плоское зеркало 5, установленное в одной ветви, объектив 6, установленный в другой рабочей ветви, и регистратор 7 интерференционной картины .

Объектив 6 рабочей ветви выполнен в виде плосковогнутой и двояковыпуклой линз, установленных так, что плоская поверхность плосковогнутой линзы, обращена к светоделителю 4. Внутри Зтих линз обеспечен параллельный ход параксиальных лучей благодаря тому, что задний фокус плосковогнутой линзы совмещен с передним фокусом той выпуклой поверхности двояковыпуклой линзы,, которая обращена к вогнутой поверхности плосковогнутой линзы.

Интерферометр работает следующим образом.

Лучи света, выходящие из источника 1 монохроматического излучения, поступают в телескопическую систему, состоящую из линз 2 и 3, которая

,

368623 ,2

уменьшает расходимость пучка и увеличивает его диаметр. Далее пучок света проходит сквозь светоделитель 4. падает на эталонную поверхность 8

10

If

20

25

30

35

40

45

50

, падает на эталонную поверхность объектива 6 и делится на два пучка. Лучи света, отраженные от поверхности 8, образуют эталонный пучок, кото- рьш после отражения от светоделителя 4 поступает в регистратор 7 интерференционной картины.

Лучи света, прошедшие через объектив 6, образуют рабочий пучок. Эти лучи падают на контролируемую поверхность 9 по нормалям к ней. Отразившись от нее, лучи проходят через объектив 6 в обратном направлении, от- ражаютсй от светоделителя 4 и поступают в регистратор 7 интерференционной картины. Интерференционная картина возникает .в результате взаимодействия эталонного и рабочего пучков. Зеркало 5 используется для юстировки интерферометра и для Проверки качества светоделителя 4. В рабочем режиме зеркало 5 в образовании интерференционной картины не участвует.

Формула изобретения

Интерферометр для контррля формы вогнутых оптических асферических поверхностей, содержащий последовательно .установленные источник монохроматического излучения, телескопическую систему и светоделитель для разделения излучения на две ветви, плоское зеркало, установленное в одной ветви, объектив, установленный в другой ветви, и регистратор интерференционной картины, отличающийся тем, 4TOi с целью упрощения конструкции интерферометра, повышения производительности и точности контроля, объектив вьтолнен в виде плосковогнутой и двояковьшуклой линз, установленных так , что плоская поверхность плосковогнутой линзы обращена к светоделителю, а ее задний фокус совмещен с передним фокусом выпуклой поверхности двояковьшуклой линзы, которая обращена к вогнутой поверхности плосковогнутой линзы.

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для использования в оптическом производстве при контроле формы вогнутых оптических асферических поверхностей, например главных зеркал телескопов. Цель изобретения - упрощение конструкции интерферометра, повышение. производительности и точности контроля. Интерферометр для контроля формы вогнутых оптических асферических поверхностей содержит последовательно расположенные источник 1 монохроматического излучения, телескопическую систему,,состоящую из линз 2 и 3, светоделитель 4, за которым в одной ветви расположено плоское зеркало 5, а в другой - объектив 6, и регистратор 7 интерференционной картины.Объектив 6 рабочей ветви выполнен в виде плосковогнутой и двояковыпуклой линз. Внутри обеих линз обеспечен параллельный ход параксиальных лучей благодаря тому, что задний фокус плосковогнутой линзы совмещен с передним фокусом той выпуклой поверхности двояковыпуклой линзы, которая обращена к вогнутой поверхности плос- ковогнутой линзы. Плоская поверхность плосковогнутой линзы используется при настройке интерферометра для правильной установки объектива бив рабочем режиме для создания эталонного волнового фронта. 1 ил.

ВНИИ1Ш Заказ 273/38 Тираж 680

Произв.-полигр. пр-тие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Подписное