Двухпозиционный предметный столик Советский патент 1986 года по МПК G02B21/26 

г

(pi/г. 2 ff J :r: Jjfjfj. 4Изобретение относится к области приборостроения, а именно к предметным столикам, и может быть использовано в измерительных приборах, напри мер микроскопах, для контроля параметров полупроводниковых пластин. Целью изобретения является повьше ние, оперативности установки контроли руемых образцов в рабочее положение На фиг. 1 схематично изображен двухпозиционный предметный столик; на фиг. 2 - винт поперечной подачи, разрез; на фиг. 3 - каретка продольной подачи, разрез по механизму фиксации. Двухпозиционный предметный столик состоит из верхней каретки 1, на которой установлены два контролируемых образца, например полупроводниковые пластины 2, нижней каретки 3, основания 4, которое с помощью кронштейна 5 крепится к основанию микроскопа. Каретка 3 перемещается в попереч ном направлении относительно основания 4 на шариковых направляющих 6. На таких же направляюш;их в продольном направлении каретка 1 перемещает ся относительно каретки 3. Верхняя каретка 1 может перемещаться плавно относительно каретки 3 с помощью механизма перемещения, выполненного в виде винта 7 и гайки 8, и ступенчато - за счет фиксатора, состоящего из шарика 9 и пружины 10. Каретки 1 и 3 с малым коэффициентом трения перемещаются относительно основания 4, причем крайнее положение кареток устанавливается с помощью переставля емых упоров, состоящих из корпуСа 1 и микрометрического винта 12. В край нем положении каретки удерживаются с помощью магнитов 13, закрепленных на стержне 14, жестко соединенном с кареткой 3, при этом винт 12 упирает ся в выступ 15. Усилие, с которым стержень 14, а следовательно, и каретка 3 притягиваютс к микрометрическому винту 12, регулируется за счет выбора зазора А между магнитами и кольцом 16, закрепленным на винте 12. Двухпозиционный предметный столи работает следующим образом. При подготовке к работе предметны столик устанавливают на микроскопе. В гнезде верхней каретки 1 устанавли вают контролируемые образцы 2, сори75ентированные по базовому срезу. С помощью механизмов фокусировки объектив микроскопа устанавливают на резкость изображения одной из пластин. Нижнюю каретку 3 устанавливают в одном из крайних положений, на которое настраивают микрометрический винт 12. С помощью магнита 13 выступ 15 прижимается к микрометрическому винту 12. За счет того, что стержень 14 жестко связан с кареткой 3, она фиксируется в нужном положении. Вращая винт 12 и переставляя при необходимости корпус 11, а также перемещая каретку 1 и вращая винт 7, совмещают изображение контролируемой точки на образце с точкой, выбранной в поле зрения окуляра. Передвигают каретку 3 в другое крайнее положение, .и с помощью другого винта 12 выбирают аналогичную точку на втором образце. При работе с измерительным, устройством во время, когда производится измерение параметров одного образца 2, установленного в одном гнезде, в другое гнездо устанавливается новый образец, который после окончания операции измерения первым перемещается на измерительную позицию. Каретка фиксируется в этом положении. Аналогичные операции проводятся с другим образцом. Совмещение по времени операций измерения и установки - съема контролируемых образцов и фиксации их в выбранном положении позволяет сократить время на установку выбранной точки образца с необходимой точностью. Формула изобретения Двухпозиционный предметный столик преимущественно микроскопа, содержащий размещенную на основании нижнюю каретку, на которой установлена верхняя каретка с механизмом перемещения в виде пары винт-гайка, отличающийся тем, что, с целью повышения оперативности установки контролируемых образцов в рабочее положениеJ он снабжен двумя фиксаторами, выполненными в виде закрепленного на нижней каретке стержня, на одном конце которого, обращенном к верхней каретке, размещен подпружиненный шарик, взаимодействующий с пазами, выполненными на боковой ,поверхности гайки механизма переме