Предметный столик микроскопа Советский патент 1984 года по МПК G02B21/26 

изобретение относится к области рриборостроения, в частности к микроскопам. . , .. Известно устройство для перемещений предметного столика измерительного микроскопа, содержащее микрометрический винт с толкающей гайкой, соединенной с .кареткой столика иголjcaiMH и.гшанкой tH. Однако в таком устройстве невозможно автоматическое перемещение предметного столика. Наиболее близким к изобретению является предметный столик, содержащий основание и установленную на нем предметную плиту с механизмом перемещения по двум координата м :t21. Недостатком известного устройства является невысокая точность и невозможность автоматического перемещения предметной плиты. Целью изобретения является повышение точности перемещения столика микроскйпа, Поставленная цель достигается тем что в предметном столике микроскопа, содержащем основание и установленную на нем предметную плиту с механизмом перемещения по двум координатам, механизм перемещения выполнен в виде двух жестко закрепленных в основании взаимно перпендикулярных пьезокерамических колец, каждое из которых снабжено башмаком, контактирующим с предметной плитой, а также одним внутренним и тремя внешними электродами, подключенными к источникам импульсного напряжения с системой управления. На фиг. 1 изображено устройство столика; на фиг.2 - подключение электродов к схеме управления. Столик содержит предметную плиту опирающуюся через шариковые опоры.2 на основание 3. JB основании 3 жестко закреплены пьезйкерамические кольца 4 и 5 так, что их оси находятся под углом 90, Кольца 4 и 5 контактируют с плитой 1 посредством башмаков 6. Каждое из колец 4 и 5 имеет общий внутренний электрод 7 и три внешних электрода . Электроды подключены к источникам импульсного напряжения с системой 14 управления. При. перемещении по одной координате к источникам подключено одно из колец. Перемещение осуществляется дискретными шагами следующим образом Под действием сигнала 14 уп равления источник 13 подает }ia электроды 7 и 10 напряжение отрицательной полярности и вследствие обратного пьезоэффекта секция кольца 5 под электродом 10 сокращается. При этом башмак 6, укрепленный на кольце 5, выйдет из соприкосновения с плитой 1. На электроды 7-8 от источника 12 и на электроды 7-9 от ис.точника 11 подаются напряжения такой полярности, чтобы секция кольца под электродом 8 сократилась, а под электродом 9 расширилась. При этом башмак 6 отклонится влево, а плита 1 покоится на опорах 2. Затем полярность напряжения на электродах 7 и 10 изменяется на противоположную, в результате чего секция кольца под электродом 10 расширяется и башмак 6 входит в контакт с плитой 1, отжимая ее от опор 2. Далее на электроды 7-8 и 7-9 подаются напряжения обратной полярности, в результате чего секция кольца под электродом 9 сокращается, а под электродом 8 расширяется и башмак перемещается вправо, сдвигая при этом предметную плиту 1 на один шаг вправо. При повторении цикла происходит пере-. мещение гшиты еще на один шаг и т.д. Источники 11-13 вырабатывают импульсные напряжения, синхронизированные соответствующим образом во времени с помощью системы 14 управления. Для изменения направления движения предметной плиты 1 система 14 управления изменяет чередование полярносТей напряжения источников 11 ч 12 на противоположные. Аналогичным образом работает другое пьезокерамическое кольцо, перемещающее пииту 1 по второй координате, причем кольца работают поочередно: интервал времени рабочего перемещения по одной координате соответствует интервалу холостого хода по другой координатеi Изменяя амплитуду напряжений, подаваемых на электроды 7-8 и 7-9, можно регулировать величину шага перемещения, а изменяя частоту следования импульсов - скорость перемещения плиты. Использование устройства позволяет перемещать предметный столик мик1 : 1107093 :4

роскопа с регулируемой точностью и зозможностьосуществлять перемещение

скоростью. Применение в системе управ- столика позаранее заданной прогления программного устройства дает рамме.

ПРЕДМЕТНЫЙ СТОЛИК МИКРОСКОПА, содержащий основание и установленную на нем предметную плиту с механизмом перемещения по двум координатам, отличающийся тем, что, с целью повьшения точности перемещения, механизм перемещения выполнен в виде двух жестко закрепленных в основании взаимно перпендикулярных пьезокерамических колец, каяадое из которых снабжено башмаком, контактирующим с предметной плитой, а также одним внутренним и тремя внешними электродами, подключенными к источникам импульсного напряжения с системой управления.

Фиг, 2