Коллекторная система растрового электронного микроскопа Советский патент 1986 года по МПК H01J37/244 

Изобретение относится к электронно-оптическому приборостроению, в частности к коллекторным системам электронно-зондовых приборов, например электронных микроскопов.

Целью изобретения является повышение точности электронно-микроскопического анализа за счет регистрации вторичных электронов по азимутальным направлениям.

На фиг. 1 показана коллекторная система в электронном микроскопе; на фиг. 2 - то же, вид по злектронноптической оси. Коллекторная система содержит пер- (5 щадки

вую пару сцинтилляторов 1 и 2, установленных симметрично относительно электронно-оптической оси в перпендикулярной ей плоскости по направлению сканирования электронного зонда. Вторая пара сцинтилляторов 3 и 4 установлена симметрично относительно линии расположения первой пары. Пе рвая 5 и 6 и вторая 7 и 8 пары попарно симметричных электродов установлены соответственно между первой 1 и 2 и второй 3 и 4 парой сцинтилляторов. Сцинтилляторы находятся под положительным потенциалом, а пары, электродов - под отрицательным потенциалом и расположены вокруг объекта 10.

Блок 11 преобразования сигналов включает электронный коммутатор 12, соединенный с логическим устройством 13, предварительно откапиброванным с помощью эталонных меток с известной ориентацией и наклоном относительно осей сцинтилляторов и соединенным с запоминающим устройством 14

Коллекторная система работает следующим образом.

Под действием сканирующего электронного зонда с площадками микронероности исследуемого участка объекта, наклоненной, например, в сторону сцинтиллятора 1, вторичные электроны попадают на этот же сцинтшшятор, в результате чего на вход блока 11 преобразования поступает сигнал, который используется для получения информации о топологии данного исследуемого участка объекта 10. Вторичные электроны с площадки той же микронеровности, наклоненной в сторону сцин тиллятора 2, попадают на этот сцинтиллятор и далее в виде сигнала в блок преобразования. При зтом сигнал

с этих на сцинтилляторы 3 и 4 отсутствует, так как тормозящее поле находящихся под отрицательным потенциалом пар электродов 5 и 6, 7 и 8 не позволяет вторичным электронам попасть на эти сцинтилляторы. С микронеровностей, имеющих площадки, наклоненные в сторону сцинтилляторов 3 и 4, появляется сигнал вторичных электронов соответственно на этих сцинтилляторах. При этом тормозящее поле электродов препятствует попаданию вторичных электронов с этих площадок на сцинтилляторы 1 и 2. С шюной ориентацией наклона, например, под 45° по отношению к оси пары сцинтилляторов 1 и 2 вторичные электроны попадут на смежные сцинтилляторы 2 и 3, но сигнал на них будет иным, чем . для случая нулевого угла по отношению к оси.

Таким образом, предложенная коллекторная система позволяет регистрировать вторичные электроны, вылетающие с площадок микронеровностей исследуемого участка объекта, определенным образом ориентированных по азимуту в плоскости объекта, и повысить точность регистрации. При зтом поскольку блок 11 преобразования предварительно может быть откалиброван на величины сигналов на соответг ствующих сцинтилляторах по углам наклона площадок микронеровностей, то различие в величинах сигналов с различных сцинтилляторов или их нулевые значения позволяют получить более точную информацию о топологии объекта. Формула изобретения

Коллекторная система растрового электронного микроскопа, содержащая пару сцинтилляторов, установленных симметрично относительно электроннооптической оси в перпендикулярной к ней плоскости, отличающаяс я тем, что, с целью повьшения точности электронно-микроскопического анализа за счет регистрации вторичных электронов по азимутальным направлениям, она снабжена второй парой сцинтилляторов, установленных симметрично относительно линии расположения первой пары сцинтилляторов, и двумя парами симметрично размещенных электродов, чередующихся с сцинтилляторами первой и второй пар. микронеровиости с промежуточ

Изобретение относится к электронно-оптическому приборостроению. Цель - повышение точности электронномикроскопического аналиэа. Коллекторная система растрового электронного микроскопа содержит пару сцинтшшяторов (с) 1 и 2, пару электродов (э) 5 и 6, блок И преобразования сигналов, включающий электронный коммута- 1 тор 12, логическое устройство (У) 13, запоминающее У 14. Цель достигается тем, что она снабжена второй парой С 3 и 4 и второй парой Э 7 и 8, при . этом пара С 3 и 4 установлена симметричИо относительно линии расположения пары С 1 и 2, а пары Э 5 и 6 и 7 и 8 установлены соответственно между парами С 1 h 2 и 3 и 4. Коллекторная система позволяет регистрировать вторичные электроны, вылетаю- щие с площадок микронеровностей исследуемого участка объекта, опредег ленным образом ориентированных по азимуту в плоскости объекта, и получить более точную информацию о топологии объекта. 2 ил. ьэ сд СП ОО оэ