Устройство для контроля поверхностных микропотенциалов Советский патент 1990 года по МПК H01J37/26 

1

(21)3873745/24-63

(22)26.03.85

(46) 30.07.90. Бюл. № 28

(71)Московский институт электронного машиностроения

(72)В,:В.Рыбалко

(53) 621.385.833(088.8)

(56) Авторское свидетельство СССР

№ 503316, кя. Н 01 J 37/26,10.04,74,

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПОВЕРХНОСТНЫХ МИКРОПОТЕНЦИАЛОВ

(57) Изобретение относится к микро- зондовой технике и может быть использовано в электронной микроскопии. Цель изобретения - повышение чувствит тельности контроля. Устройство содержит зондоформирующую систему, состоя

Изобретение относится к области микрозондовой техники и может быть использовано в электронной микроскопии. Цель изобретения - повышение чувствительности контроля. Устройство содержит зондоформирующую систему, состоящую из источника 1 зондирующих частиц, конденсорного блока 2, электростатической отклоняющей системы 3, объектодержателя 4 и формирующей линзы 5, анализатора 6 вторичного потока электронов типа "цилиндрическое зеркало", системы 7 регистрации, экранирующей диафрагмы 8. Анализатор 6 и система 7 регистрации расположены соосно с зондоформирующей системой, при этом анализатор 6 и система 7 регистрации расположены между конденсорным блоком 2 и формирующей линзой 5. 2 ил.

К индикатору

(Л

О1

00

к ю

(Э

о

//////////////////// i

Фиг./

щую из источника 1 зондирующих частиц, конденсорного блока 2, электростатической отклоняющей системы 3, объектодержателя 4 и формирующей линзы 5, анализатора 6 вторичного потока электронов типа цилиндрическое зеркало, системы 7 регистрации„

Изобретение относится к микрозон- довой технике и может быть использовано в микроскопии (например, электронной) .

Цель изобретения повышение чувствительности контроля.

На фиг,1 изображен вариант устройства с расположением формирующей линзы перед плоскостью объектодержателя; на фиг.2 - вариант устройства с расположением формирующей линзы за плоскостью объектодержателя.

Устройство содержит зондоформирую- щую систему, состоящую из источника 1 зондирующих частиц, конденсорного блока 2, электростатической отклоняющей системы 39 объектодержателя 4, формирующей линзы 5 и анализатора 6 вторичного потока электронов типа цилиндрическое зеркало, выполненного из немагнитного материала с электропроводящим поверхностным слоем, системы 7 регистрации сигнала и экранирующей диафрагмы 8.

Устройство работает следующим образом.

Источник 1 генерирует поток зондирующих частиц (например, электронов), который предварительно фокусируется

конденсорным блоком 2 и сканируется отклоняющей системой 3 по поверхности объектодержателя 4, При этом с помощью фокусирующей линзы 5 поток фокусируется в зонд в плоскости объектодержателя 4, Поток вторично эмиссионного сигнала, генерируемый в образце, установленном на объекте- держателе 4, поступает на вход анализатора 6. Анализатор настраиваемся на любой участок энергетического спектра вторичных частиц, Далее облу

экранирующей диафрагмы 8. Анализатор

6и сист ема 7 регистрации расположены соосно с зондоформирующей системой, при этом анализатор 6 и система

7регистрации расположены между кон- денсорным блоком 2 и формирующей линзой 5. 2 ил.

5

0

5

0

5

0

0

чают контролируемый участок, регистрируют сигнал на выходе системы 7 регистрации и регулируют потенциал анализатора 6 до того момента, когда сигнал достигнет первоначального значения. Тогда определяют величину потенциала контролируемого участка по формуле I

ик и0 + л и,

где 170 - известньй потенциал первоначального облученного участка;

4U - величина изменения фокусирующего потенциала анализатора при его регулировке во время зондирования контролируемого участка.

Формула изобретения

Устройство для контроля поверх- нЪстных микропотенциалов, содержащее последовательно расположенные зондо- формирующую систему, включающую источник зондирующих частиц, конденсорный блок, формирующую линзу и объектодер- жатель, анализатор вторичного потока электронов, систему регистрации, отличающееся тем, что, с целью повыше чя чувствительности контроля, анализатор вторичного потока электронов и система регистрации расположены соосно с зондоформирующей системой, при этом анализатор и система регистрации расположены между конденсорным блоком и формирующей линзой, анализатор вторичного потока электронов выполнен в виде цилиндрического зеркала, а регистратор - в виде коллектора электронов„

Фиг. 2