Стекло для изоляции приборов Советский патент 1987 года по МПК C03C3/74 

Изобретение относится к составам легкоплавких стек:ол, используе а 1х в микроэлектронике для стабилизации и защиты полупроводниковых приборов .5

Целью изобретения является снижение температуры размягчения и температуры варки стекла..

Технология варки стекла следующая.

Компоненты стекла,

мае.%

РЬО

,3,50 3,00 2,50

Температура варки, °С 1000 1000 1000

Температура размягчения, °С

Температура получения оплавленного покрытия,

с

440+10 440+10 440+10

Коэффициент теплового расширения, 10

Удельное электрическое сопротивление при 300°С, Ом-см

5. 7ИО 9-10

Как видно из таблицы, синтезированные стекла обладают более низкой температурой начала размягчения, что дает возможность проводит ь термообработку защитной пленки до 440-450 С. Значения остальных свойств остаются на том же уровне. Кроме того, предШихты стекол готовят из оксидов висмута, цинка, свинца, диоксида кремния и борной кислоты, тщательно перемешивают и варят в платиновых тиглях при 1000+20 С в течение 1 ч. Готовую стекломассу отливают на стальную форму.

В таблице представлены составы предлагаемых стекол и их физико- химические характеристики.

380

385

390

50

52

51

лагаемые стекла имеют коэффициент, линейного расщирения, укладыва- ющийся в необходимые пределы: (50-52) град- .

Предлагаемые стекла могут быть использованы в качестве изолирующих слоев при производстве микросхем.

3 12849574

Формула изобретения дующемсоотношении компонентов ,

мас.%:

Стекло для изоляции приборов,

включающее РЬО, BjO,, SiO, ZnO, .PbO22,00-23,50

о т ли ч а ю щ а ее я тем, что, ,00-23,50

с целью снижения температуры раз- -SiO 9,50-10,50

мягчения и температуры варки, оноZnO41,00-42,00

дополнительно содержит при еле-Bij O 2,50-3,50

Изобретение позволяет снизить температуру размягчения и температуру варки стекла. Согласно изобретению стекло содержит, мас.%: РЬО 22-23,5; , 22-23,5; SiO 9,5- 10,5; ZnO 41-42; 2,. Тем- ;пература размягчения 380-390 С, а температура варки - 1000 С,1 табл. 70