Запорное устройство Советский патент 1987 года по МПК F16K1/24 

ПИЯ - расшир4 яие функциональных иоз- можностей устройства за счет регулировки величины прямого хода и угла поворота запорного органа. При подаче насьяценного парами масла воздуха в штуцер 13 перемещается поршень 6 и вместе с ним - шток 3 с рычагом 2 и запорньм органом }, происходит открытие герметизируемого дбъема, при этом шток 3 движется прямолинейно, так как прямой учас- гок профильного паза скользит по

1

Изобретение относится к армату- остроению и может быть исполЬзова- но в вакуумной технике например в ялазмохимическом оборудовании, терическом оборудовании для процес сов осажденияслоев на кремниевую подложку, диффузионном и окисли- тельном оборудовании.

Целью изобретения является расширение функциональных возможностей ус.тройства за счет регулировки величины прямого хода и угла поворота запорного органа.

На фиг, 1 изображено предлагаемое устройство, общий вид, на фиг.2 форма профильного паз-а.

Устройство состоит из запорного органа I, связанного с помощью консольного рычага 2 со штоком 3 пнев- моцилиндра 4. Шток 3 через поворотный шарнир 5 -связан с порвшем 6 так что прн возвратно-поступательном перемещении поршня 6 вместе с ним перемецается шток 3, правый (на фиг с S) конец которого полый и на нем обрвэовая на участке А профиль- нь1й паз 7, Втулка 8 является направ- ляавчеЛ для «тока 3 и ограничителем от проворота для пальце 9, взаима- действукцего с профильным пазом 7 штока 3. Палец 9 жестко закреплен в держателе 10 установленном внутри штока 3 с возможность перемещения вдоль оси на длину паэа 7. во втулке . 8. Перемещение осуществляется эа счет вращения по часовой или против часовой стрелки винта 11 с последующим законтриванием его гайками 12.

вЬВ62

пальцу 9. При дальнейшем дт ижении поршня 6 пал(М1 9 начинает пкольтнть по винтовой части профильного паза и тем самым поворачивает шток 3 на угол,- соответствующий .углу наклона винтовой линии профильного паза,При

. этом запорный орган 1 отходит в сторону, освобождая пространство для доступа к герметизируемому объему. Закрытие устройства осуществляется в обратном порядке при подаче воз- духа в ттуцер А. 2 ил.

В корпусе пневмоцилиндра 4 зьтолне ны штуцеры 13 и 14 подачи возд,оса.

При перемещении пальца 9 к псрш- гао 6 вращением виита 1 против чй- 5 совой стрелки увеличивается прямой ход запорного органа 1,от герметизируемого объема9 что очень важно при . наличии на запорном органе больаюго количества экранов. Ш

При перемещении пальца 9 от nopF - ня 6 вращением винта il по часовой стрелке уменьшается прямой ход за- 15 порного органа 1 и увеличивается угол отклонения последнего..

Запорное устройство работает сле- дуюидам образом,Q I при подаче, насыщенного ма-, ела возД Уха в штуцер 13 перемещает- ся поршень 6 и вместе с ним шток 3 с рычагом 2 и запорным органом 1j происходит открытие герметизнруеьгого.

5 объема, при этом .шток 3 движется

прямолинейно, так как прямой участок профильного паза 7 скользит по пальцу 9. При дальнейшем движении порш- i ня 6 палец 9 начинает скользить по

0 .винтовой части профильного паза 7 и тем самым поворачивает шток 3 ка . угол, соответствующий углу наклона винтовой линии профильного паза,

При этом запорный орган I. отходит в сторону, освобождая пространство для доступа к герметизируемом у объему. Закрытие устройства ос;л11ествля- ется в. обратном порядке при подаче йоздуха в гатуцер 14,

Ф о р м у л я изобретения

Запорное устройство, содержащее запорный орган, пневмоцилиндр с кор- пусом, поршнем и ттоком, средство поворота с пальцем и .закрепленный на штоке поворотный шарнир, отличающееся тем,.что, с целью

р л шире-tin я функ иональмых воэмож- гостей, средство поворота размещено в корпг/се пневмоцили.чдра, а поворот ный шарнир установлен внутри порашя с возможностью взаимодействия с «им при этом палец средства поворота установлен с возможностью перемещенмя вдоль оси штока.

Изобретение откосится к арма- туростроению и может быть использовано в вакуумной технике, иапример В плаэмохимичсском оборудовании, термическом оборудовании для ттро- цессов осаждения слоев на кремниевую подложку, диффузионном и окислительном оборудовании. Цель изобретеЮ 00 О) 00 а 1C miA.

Редактор Н.Бандура

Составитель Л. Фокин Техред Л, Сердюкова

Заказ 7700/37 Тираж 81 Подпнсйое

ВПИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Пронзводственно-псЗлиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Про«стная, 4

Фиш.&

Корректор А.Тяско