Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы Советский патент 1991 года по МПК C23C16/458 

113

Изобретение относится к оборудова- ншо для нанесения оптических и защитных покрытий из газовой фазы « касается устройств для нанесения тонких пленок на подложки, в частности устройств для получения зеркальных пок-. рытий с высокой отражательной способностью и механической прочностью, используемых в качестве оптических элементов лазеров.

Целью изобретения является повьппе- ние эффективиости работы и удобства обслуживания устройства.

На фиг.1 изображено устройство,,

Рс1зрез на фиг.2 - подложкодержатель

с нагревателем, разрез.

(. .

Устройство содержит вертикальный герметичный корпус 1, крьппку 2, нагревательный блок 3 с нагревателем 4 и установленной на нем электромагнитной катушкой 5 и подложкодержатель 6

Устанавливают подложкодержатель 6 с подложкой 7 под нагренательньй блок 3, включают электромагнитную катушку 5 и проводят подготовительные операции по герметизации, нагреву и заполме{тю системы инертным газом. Затем подают под тарелку 1А с исходным веществом газ - носитель и непосредственно к поверхнос ти подложки 7 - газ-реагент. После нанесения покрытий отключают электро магнитиую катушку 5 и с помощью штока 16 с захватом 15 выводят подложку 7 в сборке с подложкодержателем 6 в

5 камеру-шлю;: 18, заменяя ее новой. Все операции проводятся без разборки и разгерметизации системы, а также без промежуточного охлаждения. Анало гично проводят замену перфорирован20 ной тарелки 14 с веществом для покрытия.

Предлагаемое устройство имеет сле дуклдие преимущества.

Повышает производительность труда

для механического-закрепления обраба- за счет увеличения числа покрываемых

тываемой подложки 7. Соосно подлож- ке 7 установлено приспособление для ввода газа-реагента, выполненное в виде полого перфорированного кольца 8, сообщенного с наружной трубкой 9 дяя подачи газа - реагента. На нижней крьшке 10 СООСНО подложке 7 установлен блок 11 подачи газов с встроенным в него нагревателем 12 и трубкой 13 для подачи газа-носителя, на который установлена перфорированная тарелка 14, заполненная пористым материалом с нанесенным на него веществом для покрытия. Подложкодержа- тепъ 6 вставлен и захват 15, связанный со штоком 16, пропущенным через уплотненное отверстие 17 в камере- випозе 18. Имеется аналогичное приспособление для смены тарелки 14 Суслов-

30

подложек без разборки корпуса и разгерметизации системы.

Повышает удобство в обслуживании за счет автоматизации операции прижима подложкодержателя к нагревательному блоку.

Сокращает расход электроэнергии за счет сокращения промежуточных операций отключения нагревателей и ох- 35 лаждения системы, а также улучшения teплoвoгo контакта подложки с нагревательным блоком.

Сокращает расход газа за счет сокращений операций по разгерметиза- 40 ции системы.

Формула изобретения

1. Устррйство для нанесения покрытий из.газовой фазы по авт. св.

но не показано). К крьппке 2 прикреп- 45 П94042, о т л и чаю щ е ее я лены трубка 19 для отвода отработан- тем, что, с целью повыпения зффективности работы и удобства обслуживания

нык газов и привод вращения нагрева-, тельного блока 3 (условно не показан) На нагревательном блоке 3 смонтирован магнитопровод 20 и немагнитная вставка 21, при этом нагревательный блок 3 и подложкодержатель 6 выполне- Н1,1 из магнитного материала, а магнитопровод 20 смонтирован с возможноустройства, бно дополнительно снабжено магнитопроводом с электромагнит- 50 ной катушкой, установленным на нагревательном блоке с возможностью взаимодействия с подложкодержателем, при этом HarpeBaTejibHbrit блок и подпожко- держатель выполнены из магнитногэ

с гью взаимодействия с подложкодержа- 55 материала.

2. Устройство по П.1., отличающееся тем, что нагревательный блок дополнительно снабжен приводом вращё{1ия.

пглем 6,

I . t

Устройство работает следующим образом.

Устанавливают подложкодержатель 6 с подложкой 7 под нагренательньй блок 3, включают электромагнитную катушку 5 и проводят подготовительные операции по герметизации, нагреву и заполме{тю системы инертным газом. Затем подают под тарелку 1А с исходным веществом газ - носитель и непосредственно к поверхности подложки 7 - газ-реагент. После нанесения покрытий отключают электро- магнитиую катушку 5 и с помощью штока 16 с захватом 15 выводят подложку 7 в сборке с подложкодержателем 6 в

5 камеру-шлю;: 18, заменяя ее новой. Все операции проводятся без разборки и разгерметизации системы, а также без промежуточного охлаждения. Аналогично проводят замену перфорирован0 ной тарелки 14 с веществом для покрытия.

Предлагаемое устройство имеет сле- дуклдие преимущества.

Повышает производительность труда

30

подложек без разборки корпуса и разгерметизации системы.

Повышает удобство в обслуживании за счет автоматизации операции прижима подложкодержателя к нагревательному блоку.

Сокращает расход электроэнергии за счет сокращения промежуточных операций отключения нагревателей и ох- 35 лаждения системы, а также улучшения teплoвoгo контакта подложки с нагревательным блоком.

Сокращает расход газа за счет сокращений операций по разгерметиза- 40 ции системы.

Формула изобретения

1. Устррйство для нанесения покрытий из.газовой фазы по авт. св.

устройства, бно дополнительно снабжено магнитопроводом с электромагнит- 50 ной катушкой, установленным на нагревательном блоке с возможностью взаимодействия с подложкодержателем, при этом HarpeBaTejibHbrit блок и подпожко- держатель выполнены из магнитногэ

материала.

2. Устройство по П.1., отличающееся тем, что нагревательный блок дополнительно снабжен приводом вращё{1ия.

Изобретение относится к оборудованию для нанесения покрытий из газовой фазы. Целью изобретения является повьшение эффективности и удобства обслуживания устройства.за счет, увеличения числа покрываемых подложек без разборки и разгерметизации системы. В подложкодержатель 6, связанный с захватом 1.S , устанавливают подложку и вводят под нагревательный блок 3. BKjno4aroT электромагнитную катушку 5 и проводят подготовительные операций (герметизацию, нагрев и зат Полнение системы инертным газом). Подают под тарелку 14 с исходным веществом горячий газ-Иоситель и непосредственно к поверхности подложки - газ-реагент. После нанесения покрытий отключают электромагнитную катушку 5 и с помощью штока 16 с захватом 15 выводят подпожкодержатель 6 в камеру - шлюэ 18. Производят замену обрабатываемой подложки. 1 з.п. ф-лы, 2 ил. CLO сЬ 00 о О1