Электрическая вакуумная ловушка Советский патент 1987 года по МПК F04F9/06 

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к устройствам для улавливания паров масла при применении вакуумных паромасляньк диЛфузион HfeK насосов .и механических насосов с масляным уплотнением.

Целью изобретения является повьппе ние защитных свойств ловушки в широком диапазоне рабочих давлений,

.На фиг,1 представлена электричес кая ловушка, общий вид; на фиг, 2 - магнитное устройство электрической ловушки.

Электрическая вакуумная ловушка содержит корпус 1 с входным отверстием 2, расположенные в корпусе 1 разрядные электроды, подключенные к источнику 3 питания„ магнитное устройство, и эмиссионный электрод 4 с блоком 5 питания. Разрядные электроды выполнены в виде перекрывающих входное отверстие 2 двух криволинейных сеток 6 и 7 с общим центром кривизны обращенных вогнутой стороной внутрь корпуса , а магнитное устройство - в виде набора постоянных магнитов 8,, расположенных по окружности с образованием концентричных секций 9 и 10 размещенных над сетками и соединенных между собой по одноименным полюсам при помощи магнитопроводов 11 , причем эмиссионный электрод 4 расположен в центре кривизны сеток.

Кроме того, ловушка содержит высоковакуумный затвор 12, низкотемпературную охлаждаемую ловушку 13 и откачиваемый объем 14, К ловушке подсоединен механический насос 15,

В диапазоне рабочих давлений 1 - 10 Па ловушка работает следующим об- разом.

При подаче разности потенциалов от источника 3 питания разряда между электродом, являющимся катодом, и

электродом-анодом, згшигается тлеющий разряд. При попадании паров масла из механического насоса 15 с мас- ляньВ -i уплотнением в разрядный промежуток молекулы углеводородов ионизируются в дрейфуют под действием электрического поля, осаждаясь на поверхности катода, корпуса 1 и высоковакуумного затвора 12, и полимери- зуются. Для более эффективной ионизации молекул предусмотрено магнитное устройство, позволяющее пол учить распределенное по площади анода и ка-, тода постоянное магнитное поле, перo

15

пендикулярное электрическому. При этом протяженность траектории элект,- ронов увеличивается, соответственно увеличивается количество содержаний электронов с молекулами углеводородов и остаточных газов, т.е. увеличивается степень ионизации,

В диапазоне рабочих давлений - 10- Па между электродом, являющимся анодом, и электродом-катодом, а также эмиссионным электродом 4, являющимся термокатодом, подается разность потенциалов от источника 3 питания разряда и блока 5 питания эмиссионного электрода.

Магнитное устройство служит для увеличения в области ионизации эффективной длины свободного пробега электронов5 эмиттируемых эмиссионным электродом 4, В результате соударений с электронами происходит ионизация молекул остаточных газов и углеводородов, Под действием высокого положительного потенциала, приложенного к аноду, происходит ускорение и фокусировка ионов остаточных газов и углеводородов. Последние осаждаются на жалюзях низкотемпературной охлаждаемой ловушки I3 и полимеризуют ся. Выпуклая форма анода и. катода

позволяет ионизировать молекулы углеводородов и остаточных газов во всем объеме электрической ловушки.

Таким образом, в электрической ва5 куумной ловушке благодаря наличию эмиссионного электрода, конструкции разрядного и магнитного устройств достигается широкий диапазон рабочих давлений от 1 до

0

5

.

Формула изобретения

Электрическая вакуумная ловуш1са, содержащая корпус с входным отверстием, расположенные в корпусе разряд45 ные электроды, подключенные к источнику питания, и магнитное устройство, отличающаяся тем, что, с целью повышения защитных свойств в широком диапазоне рабочих давлений,

50 она дополнительно содержит эмиссионный электрод с блоком питания, разрядные электроды выполнены в виде пе- рекрьшающих входное отверстие двух криволинейных сеток с обш;им центром

55 кривизны, обращенных вогнутой стороной внутрь корпуса, а магнитное устройство - в Bi-ще набора постоянных магнитовJ расположенных по окружное313219484

ти с образованием концентричных сек- лосам при помощи.магнитопроводов,при- ций, размещенных над сетками и соеди- чём эмиссионный электрод расположен ненных между собой по одноименным по- в центре кривизны сеток.

Изобретение относится к устройствам для улавливания паров масла при применении вакуумных паромасля- ных диффузионных насосов и механических насосов с масляным уплотнением. Цель изобретения - повышение защитных свойств ловушки в широком диапазоне рабочих давлений. Разрядные электроды выполнены в виде перекрывающих входное отверстие 2 двух криволинейных сеток 6 и 7 с общим центром кривизны. Сетки 6 и 7 вогнутой стороной обращены внутрь корпуса 1 Магнитное устройство вьшолнено в виде набора постоянньпс магнитов, которые расположены по окружности с образованием концентричных секций, размещены над сетками и соединены между собой по одноименным полюсам при помощи магнитопроводов. В центре кривизны сеток расположен эмиссионный электрод 4 с блоком 5 питания. Ловушка работает в диапазоне рабочих давлений -от 1 до . Магнитное устройство служит для увеличения в области ионизации эффективной длины свободного пробега электронов, имитируемых электродом-4, 2 ил. Q & (Л с 00 to ( 4 00 Фиг. 1

10

Редактор И.Николайчук

Составитель Э.Могильницкая Техред А.Кравчук

Заказ 2740/29Тираж 574Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

„Производственно-полиграфическое предприятие, г.Ужгород, ул.Проектная, 4

Фм.2

Корректор В.Бутяга