Теплоэлектрический преобразователь давления Советский патент 1987 года по МПК G01L21/12 

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к преобразователям, применяемым для измерения давлений ниже 100 Па, и может быть использовано для контроля давления в микрокриостатах, узлах и устройствах вакуумных конструкций, в откачиваемых слоях теплоизоляции или в устройствах с низкой скоростью откачки.

Целью изобретения является снижение стоимости датчика.

На чертеже изображен предлагаемый манометр, общий вид.

Преобразователь содержит прямоугольную рамку 1, изготовленную из стеклянных нитей диаметром 0,2 мм. На рамку 1 намотан чувствительный элемент 2, выполненный из литого медного микропровода диаметром 0,01 мм, размещенного в изолирующей стеклянной оболочке толщиной 0,001 - 0,003 мм. Поверх изолирующей стеклянной оболочки размещен слой металла с низкой степенью черноты, например алюминий. Выводы 3 чувствительного элемента 2 пропущены через никелевые капилляры размерами 0,5 X 0,05 мм и запаяны на концах капилляров припоем ПОС-61.

Рамка 1 крепится к корпусу 4 посредством герметизирующего и электроизолирующего ввода 5, позволяющего устранить касания между рамкой 1 с чувствительным элементом 2 и корпусом 4.

Корпус 4 выполнен из никелевого капилляра размерами 3,5 X 0,1 мм, который сформован до прямоугольного сечения с закругленными краями. Один конец корпуса 4 глухой, второй открыт и служит для сообщения чувствительного элемента с внешней средой. На корпусе 4 намотан в один слой нагревательный элемент 6 из медного провода диаметром 0,03 мм, выводы которого изолиQ рованы от корпуса и чувствительного элемента с помощью ввода 5 и припаяны припоем ПОС-61 к дополнительным никелевым капиллярам 7.

Предлагаемое устройство благодаря малым размерам (толщина около 1 мм) позво5 ляет измерять давление величиной до I lO Па в малых объемах и объемах, где имеется низкая скорость откачки (или ее нет), например внутри слоев экранно-ва- куумной теплоизоляции криостатов.

Формула изобретения

Теплоэлектрический преобразователь давления, содержащий корпус и закрепленный в нем на теплоизоляторах чувствительный элемент в виде электропроводящей термочувствительной нити, отличающийся тем, что, с целью снижения стоимости, в нем электропроводящая термочувствительная нить выполнена из медного провода в стек.тянной изоляции, покрытого слоем алюминия.