Раствор для обработки изделий из стекла и кварца Советский патент 1987 года по МПК C03C15/00 

10

Изобретение относится к алектро- нике и радиотехнике для очистки подложек из кварца и стекла перед нанесением различных видов покрытий и может быть использовано в производстве СВЧ- микроэлектронных устройств и фотошаблонов.

Целью изобретения является очистка полированных изделий.

Фтористоводородная кислота 10- 20 г/л и аммоний фтористый кислый 3-5 г/л, взятые в таких соотношениях придают активные свойства поверхности стекла и кварца с поддержанием буферных свойств раствора, т.е. поддержание заданного рН в определенных пределах рН , 3-1,8, что обеспечива-- ет растворение окислов и неорганических загрязнений.

Добавка изопропилового спирта в количестве 200-250 rln служит для растворения органических загрязнений , и смягчения травящего действия фтористоводородной кислоты и ее соли - ам- 7ь 0,025 мкм (v 13); после обработки мония фтористого кислого, т.е. сох- 0,025 мкм (у 13).

1Ь

20

поверхностей в дистиллированной во де. При качественной очистке подлож полностью смачивается дистиллирова ной водой.

Пример 1. Состав ингредие тов, г/л:

Кислота фтористоводородная

Аммоний фтористый

кислый

Спирт изопропиловый

Кислота уксусная

Краситель метиленовый голубой

Вода

Для стеклянных подложек время о работки 2 мин при Т 18-25 С. Шерох ватость поверхности до обработки 0,1 мкм (v 11); после обработки 0,1 мкм ( ч 11).

Для кварцевых подложек время об ботки 3 мин при Т 18-25°С. Шерохов тость поверхности до обработки

15

4

225 1,5

0,005 754,495

ранения микрорельефа поверхности подложки без его изменения по отношению к исходному состоянию (кварца у 13, стеклаvl1),

Уксусная кислота в количестве 1/2 г/л в сочетании с красителем метиленовым голубым в количестве 0,001-0,01 г/л придает активные свойства поверхности стекла и кварца. с обеспечением адгезионных свойств поверхности к последуюидам металлическим покрытиям, наносимых например, при изготовлении металлизированных фотошаблонов и ьткросхем.

Раствор готовится последовательным растворением в 0,5-0,6 л воды фтористоводородной кислоты, аммония фтористого кислог О, спирта изопропилового и красителя метиленового голубог о и только потом уксусной кислоты с последующим добавлением воды до 1 л,

Цвет полученного раствора светло- голубой. Подложки погружают в раствор при комнатно температуре 18- 25 с , выдердашают в нем в пределах 1-4 мин в зависимогти от материала подложки,

Затем промывают сначала в горячп воде в течение 3 мпн, попом в холодной дистил:1ирот ап;ии | иоле в течение 1-2 мип Knii ipc Tb к.;1че(:тва ()чщ-т1:и

проводят С ((.М. ИИ (;--.,М МО(--1-И

0

7ь 0,025 мкм (v 13); после обработки 0,025 мкм (у 13).

Ь

0

поверхностей в дистиллированной воде. При качественной очистке подложка полностью смачивается дистиллированной водой.

Пример 1. Состав ингредиентов, г/л:

Кислота фтористоводородная

Аммоний фтористый

кислый

Спирт изопропиловый

Кислота уксусная

Краситель метиленовый голубой

Вода

Для стеклянных подложек время обработки 2 мин при Т 18-25 С. Шероховатость поверхности до обработки 0,1 мкм (v 11); после обработки 0,1 мкм ( ч 11).

Для кварцевых подложек время обработки 3 мин при Т 18-25°С. Шероховатость поверхности до обработки

15

4

225 1,5

0,005 754,495

0

5

Г)

0

Пример 2„ Состав ингредиентов, г/л:

Кислота фтористоводородная1 О Аммоний фтористый кислый3 Спирт изопропиловый 200 Кислота уксусная 1 Краситель метилено- вый голубой 0,001 Вода 785,999 Для стеклянных подложек время обработки 3 мин при Т 18-25 С. Шероховатость поверхности до обработки 0,1 мкм ( ll)j после обработки

О, 1 мкм ( 17 1 1 ) .

Для кварцевых подложек время обработки 4 мин при Т 18-25 С. Шероховатость поверхности до обработки 0,02 мкм (vl3); после обработки 0,02 мкм (V 13).

Пример 3, Состав и)1гредиен- тов, г/л:

Кислота фтористоводородная20Аммоний фторис1Ъ1Й кислый5 Спирт изопропиловый 250 Кислота уксус- 1К1Я 2

Краситель метиленовый голубой0,01

Вода722,99

Для стеклянных подложек время обработки 1 мин при Т 18-25 С. Шерохо- ватость поверхности до обработки О,1 мкм (v 1 I ; после обработки О,I мкм ( V 1 11„

Для кварцевых подложек время обработки 1,5 мин, при Т 18-25 С. Шерохо ватость поверхности до обработки 0,024 мкм (v 13 ); после обработки 0,025 мкм (vl3 ),

Пример А (известный ) для прототипа. Состав ингредиентов, г/л: Кислота фтористоводородная21,8 Кислота уксусная 28 Аммоний фторис- тый кислый 18 Вода 32,2 Время обработки 3 мин при 25°С, Шероховатость поверхности стекла до обработки О,I мкм; после обработки 5,2 мкм„

Шероховатость поверхности кварца до обработки 0,02 мкм; после обработки 3,0 мкм.

Время обработки 30 мин при 2 5 С,.,

Раствор для обработки изделий из стекла и кварца, включающий фтори 30 товодородную кислоту, аммоний фтори тый кислый, уксусную кислоту и воду отличающийся тем, что, целью очистки полированных изделий, он дополнительно содержит изопропиШероховатость поверхности кварца до обработки 0,02 мкм; после обработки 31 мкм о

Шероховатость поверхности стёкла 35 - ™Р краситель метиленовый до обработки 0,1 мкм; после обработ-голубой при следующем соотношении

ки 32 мкм о

Использование предлагаемого раствора исключает нарушение исходного

40

компонентов, г/л: Фтористоводородная кислота

10-20

микрорельефа,, В примерах 1 - 3 шероховатость поверхности для стекла до обработки О,1 мкм ( 7 II); после обработки О,1 мкм ( v II); для кварца до обработки 0,02 мкм (у 13); после обработки 0,02 мкм ( V 13);

В примере 4 при травлении шероховатость поверхности сильно увелиАммоний фтористый кислый Уксусная кислота Изопропиловый спирт

Краситель метиле- иовый голубой Вода

3-5 1-2

200-250

0,001-0,01 Остальное

Редактор Г.Волкова

Составитель О.Самохина Техред м. Ходанич

Заказ 4182/16 Тираж 427Подписное

ВНИНПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Д-35, Раушская наб., д.А/5

Ирой ЯРО пет венио-полиграфическое предприятие, г.Ужгород, ул .Прогч-- ти,1ч

391004

чивается - до 3,5 и 30 мкм в зависимости от времени обработки 3 - 30 мии.

Предлагаемый раствор по сравнению с известным сохраняет класс чистоты поверхности i стекла и кварца, что необходимо для изготовления фотошаблонов и микросхемэ

При этом исключены операции предварительного обезжиривания в органических растворителях и моющих составах при высокой температуре, что ведет к снижению трудоемкости.

Кроме того, предлагаемый раствор эффективно очищает при комнатной температуре, что дополнительно ведет к снижению энергозатрат.

Предлагаемый раствор стабилен, многоразового действия, регенерируется простым фильтрованием, что предусматривает его корректировку только на убыль состава

Формула изобретения

Раствор для обработки изделий из стекла и кварца, включающий фторис- товодородную кислоту, аммоний фтористый кислый, уксусную кислоту и воду, отличающийся тем, что, с целью очистки полированных изделий, он дополнительно содержит изопропи - ™Р краситель метилено голубой при следующем соотношени

компонентов, г/л: Фтористоводородная кислота

10-20

3-5 1-2

200-250

0,001-0,01 Остальное

Корректор В.Бутяга

Изобретение относится к электронике и -радиотехнике для очистки подложек из кварца и стекла перед нанесением различных видов покрытий и может быть использовано в производстве СВЧ-микрозлектронных устройств и фотошаблонов. С целью очистки полированных изделий раствор для обработки изделий включает, г/л; фтористоводородную кислоту 10-20; аммоний фтористый кислый 3-5; уксусную кислоту 1-2; изопропиловый спирт 200-250; краситель метилеиовый голубой 0,001-0,01; вода - остальное. Обработку ведут в течение 1-4 мин, при этом класс чистоты поверхности изделий из стекла и кварца сохраняется. г (Л со 00 со