Способ отжига монослойных эпитаксиальных феррит-гранатовых пленок для создания автосмещения Советский патент 1987 года по МПК G11C11/14 

Изобретение относится к вычислительной технике и может быть использовано при изготовлении запоминаюпщ устройств на цилиндрических магнитных доменах (ЦМД)

Цель изобретения упрощение технологии получения эпитаксиальных феррит-гранатовых пленок с автосмещ нием,,

Способ осуществляется следующим образом.

Подложку с нанесенной на нее эпитаксиальной феррит-гранатовой пленкой (ЭФГП) помещают в вакуумную отжиговую камеру, обеспечивающую градиент температуры по повер хности пленки не более двух градусов, Прои водится безмасляная откачка объема камеры до величины давления порядка 10 мм рт.ст. Включают нагреватель камеры и температуру поднимают до заданной со скоростью, не превышаю- щей 150 С/мин. После достижения температуры в диапазоне 505-520 С под- ложку с ЭФГП вьщерживают в изотермическом режиме в течение времени, необходимого для получения заданной величины автосмещения. После этого производится стабилизирующее охлаж- дение образца со скоростью 5-10 С/ми до 150°С, Затем нагреватель отжиго вой камеры выключают и остывание образца происходит вместе с медленным остыванием камеры. Откачка вакуумно камеры производится в течение всего процесса термообработки

Время выдержки ЭФГП в изотер т- ческом режиме для конкретного типа пленки с заданными параметрами опре деляется экспериментально Например величина поля автосмещения кальций- германиевой ЭФГП толщиной 3 мкм при

Редактор Л,Пчолинская

Составитель Г,Аникеев

Техред А.Кравчук Корректор И,Муска

Заказ 4439/54Тираж 589 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва Ж-35, Раушская наб,, д,4/5

Производственно-похшграфическое предприятие, г,Ужгород, ул,Проектная, 4

изотермической выдержке 10 Ч от поля смещения пленки, а для пленки толщиной 5 и 7 мм при изотермической вьщержке 15 и 20 ч величина йН соответственно равна 30 и 20%, При этом способ обеспечивает разброс параметров образцов равных по толщине ЭФГП не более 2%, При увеличении скорости охлаждения до 20-30 С мин разброс параметров возрастает до 10-15%,

Фор

Предлагаемый способ отжига моно- слойных ЭФГП позволяет получать до- меносодержащие пленки с малыми размерами ЦВД и низким требуемым полем смещения, Он значительно проще и дешевле способа получения доменосо- держащих пленок с автосмещением на основе многослойных ЭФГП,

у л а

изобретения

Фор

1,Способ отжига монослойных эпитаксиальных ферри -гранатовьпс пленок для создания автосмещения, основанный на жидкофазной эпитаксии, о т- личающийся тем, что, с целью упрощения получения эпитаксиальных феррит-гранатовых пленок с автосмещением, феррит-гранатовую пленку подвергают низкотемпературному вакуумному отжигу при 505-520°С

с газотермической выдержкой и последующим стабилизирующим охлаждением,

2,Способ по п,1, отличающийся тем, что, с целью уменьшения разброса параметров эпитаксиальных феррит-гранатовых пленок после отжига, стабилизирующее охлаждение ее производят со скоростью град/мин.

Изобретение относится к вычислительной технике и может быть использовано при изготовлении запоминающих устройств на цилиндрических магнитных доменах (ЦМД). Целью изобретения является упрощение получения эпитаксиальных феррит-гранатовых шIe- нок (ЭФГП) с автосмещением. Подложку с ЭФПГ помещают в вакуумную отжи- говую камеру, производят откачку камеры, поднимают температуру в камеру до 505-520°С и вьщерживают ЭФГП в изотермическом режиме в течение времени, необходимого для получения заданной величины автосмещения, производят стабилизирующее охлаждение образца со скоростью 5-10°С/мин до температуры 150 С, выключают нагреватель отжиговой камеры и ожидают охлаждения ЭФГП внутри камеры. Способ позволяет получать дешевые доме- носодержащие пленки с малыми размерами ЦЩ и низким требуемым полем смещения. 1 з.п. ф-лы. с S (Л