Стекло Советский патент 1987 года по МПК C03C8/24 

11350129

Изобретение относится к техноло-Формула изобрете ния гии силикатов, к производству евин- цового алюмоборосиликатного стекла„ Стекло, включающее SiO, , предназначенного для использования в ,., , PbO, ZnO, ZrOj, SnO, о т л и- ми1фоэлектронике для герметизации ,чающееся тем, что, с целью элементов микросхем.повьшения адгезии к никелю, оно до- Целью изобретения является повьше-полнитально содержит МпО, , NiO ние адгезии к никелю.при следующем соотношении компоненИзобретение поясняется конкретны- ютов, мас,%: ми составами стекол, представленнымиSiO 11-15

в табл.1.Б ОЗ5-10

Характеристика составов предлага-Al O,5-7

емого и известного стекол представле-РЬО62-70

на в табл.2.15 ZnO4-6

Полученные с помощью предлагаемо-ZrO 1-2

го стекла герметизированные толсто-SnO 1-2

пленочные элементь практически неМпО0,1-0,5

изменяют своих электрических харак-Fe Oj0,1-0,5

теристик после длительного вьщержива- 20 NiO0,1-0,5

ния их во влажной среде (56 сут,причем сумма МпО, , NiO равна

влажность 98%).0,5-1 мас.%.

Таблица 1

2:МпО+Ге40э +

+ NiO0,91,00,50,7

Температура размягчения , с

Коэффициент теплового расширения, 06-10 град

0,05

0,08

0,07

Не кристаллизуется

Стеклообразное с хорошей адгезией к никелевому проводнику покрытие

Таблица 2

420+10

420±10

420+10 430+10

60+1

63+1

60±1 60±2

0,08

0,07

0,05 0,05-0,08

Стеклообразноеадгезия слабая к никелю

Изобретение относится к области технологии силикатов, к производству свинцового алюмоборосиликатного стекла, предназначенного для использования в микроэлектронике для герметизации толстопленочных элементов микросхем. Цель - повьшение адгезии к никелю. Стекло содержит,- мас.%: SiO 11,0-15,0; BiOj 5,0-10,0;, AljGj 5,0- 7,0; PbO 62,0-70,0; ZnO 4,0-6,0; ZrOj 1,0-2,0; SnO 1,0-2,0; MnO 0,1-0,5; Ре,0э 0,1-0,5; NiO 0,1-0,5. Сумма MnO + + NiO равна 0,5- 1,0 мас.%. Стекло может быть использовано в технике в качестве химически устойчивого изоляционного материала. КТР стекла (60-65) 10 1/гра,ц, . температура размягчения 420-10°С. Стекло образует стеклообразное с хо- рошей адгезией к никелевому проводнику покрытие. 2 табЛо а со ел ю со