Многоступенчатый диффузионный ртутный насос Советский патент 1961 года по МПК F04F9/04 F04F5/38 

Известные шнетрукции многоступенчатых д.нффузноииыл ртутных насосов, также как и термопарных манометров для косвенного измерения давления откачиваемых газов с предварительным их сжатием, не позволяют исключить влияние форвакуумного давления на ноказания манометра.

Предлагаемый днффузиоппый ртутныГ насос свободен от этого | едостатка, а конструкция его унрощается.

В отличие от применяемых, диффузионный ртутный насос выполнен с присоединепием термопарного манометра, причем носледнип присоединен между днффузионной и эжекторной ступенями насоса.

На чертеже изображена схема комноновки отделынзкх частей описываемого насоса. Насос состоит из подогревателя /, корнуеа 2, паропровода 3, двух эжекторов 4 и 5, диффуз-ионного сопла 6 н выхлопно тру бы 7. Термопарный манометр 5 нодсоедипен между диффузионной н эжекторной ступенями насоса. Газ из откачиваемого объема попадает на вход в насос, захватывается струей паров ртути, выходящей из диффузионного сопла 6, и сжимается. Сжатый газ засасывается сначала эжектором 5, затем эжектором 4 н по трубке 7 выбрасывается в фор вакуумную систему. Давление газов между диффузионным соплом и эжектором 5 оказывается пропорциональным давлению в откачиваемом объеме, т. е. на входе в насос. Коэффициент пропорцноналъпости определяется отношением расхода насоса (в Л1сек) к расходу элчсктора (в л/сек). Тогда, измеряя давления в насосе между диффузионной и эжекторной етупепями, судят о давлениг в откачиваемом объеме.

Предмет изобретен и я

Многостуненчатый днффузионный ртутный насос с термопарным манометрам для косвенного измерения давления откачиваемых газов, отличающийся тем, что, с целью исключения влияния форвакуумного давления на показания термопарного манометра, последний подсоединен между диффузионной и эжекторной ступенями насоса.