Устройство для измерения геометрических параметров зеркальных оптических элементов Советский патент 1987 года по МПК G01B11/24 G01B9/21 

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к устройствам для измерения геометрически параметров зеркальных оптических элементов таких, как их радиусы кривизны или локальные отступления поверхности от заданной формы и является усовершенствованием известного устройства по авт.св. № 593070.

Цель изобретения - повьппение помехозащищенности устройства за счет компенсации фазовых возмущений вносимых в предметный пучок при вибрациях отражателя.

На чертеже изображена принципиальная схема предлагаемого устройства для измерения геометрических параметров зеркальных оптических элементов.

Устройство состоит из последовательно расположенных источников 1 когерентного излучения и светоделителя 2, связанного оптически с системами формирования опорного и предметного пучков. Системы формирования предметного пучка включают в себя блок 3 освещения и сигнальный канал, состоящий из отражателя 4, рассеива- теля 5 и регистратора 6 (фотопластинка) . Система формирования опорного пучка включает плоское зеркало 7, отверстие 8 в рассеивателе 5, отражатель 4, плоские зеркала 9 и 10 и расширитель 11 пучка. Отверстие 8 вблизи центра рассеивания имеет небольшие размеры, достаточные для прохождения нерасширенного пучка лазера (несколько миллиметров). Отражатель 4 установлен на подвижной каретке механизма 12 сдвига. Расстояние между отражателем 4 и рассеи вателем 5 меньше фокусного расстояния отражателя, 4.

Устройство работает следующим образом.

Редактор Г.Волкова Заказ 5986/37

Составитель Л.Лобзова Техред А.Кравчук

Корректор

Тираж 677Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиг рафическое предприятие, г. Ужгород, VJT. Проекгнал, 4

0

5

Освещают от источника 1 когерентного излучения рассеиватель 5 и расположенный за ним отражатель 4 предметным пучком, прошедшим через светоделитель 2 и блок 3 освещения. Затем отраженное и рассеянное излучение подают на регистратор 6 одновременно с опорным пучком, прошедшим от источника 1 когерентного излучения через светоделитель 2, зеркало 6, отверстие 8, отражатель 4, снова - через отверстие 8, зеркала 9 и 10 и расширитель 11. На регистраторе 6 записывают голограмму, обрабатывают ее без смещения регистратора 6 с места экспозиции. На этапе восстановления включают одновременно предметный и опорный пучки и через голограмму, записанную на регистраторе 6, наблюдают восстановленное изображение рассеивателя 5. После этого производят сдвиг отражателя 4 посредством механизма 12 сдвига, наблюдают 5 голографическую интерферограмму

сдвига, по которой судят о геометрических параметрах отражателя 4. Фазовые возмущения, вносимые в предметный пучок при вибрациях отражате- ля 4, в значительной мере компенсируются такими же возмущениями, вносимыми одновременно и в опорный пучок.

Формула изобретения

Устройство для измерения геометрических параметров зеркальных оптических элементов по авт.св.№ 593070, отличающееся тем, что, с целью повышения помехозащищенности устройства, оно снабжено двумя плоскими зеркалами, в рассеивателе выполнено отверстие, зеркала установлены напротив отверстия, одно - на пути отраженного от светоделителя излучения, а другое - на пути отраженного от отражателя излучения.

0

5

0

5

Корректор О.Кравцова

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к устройствам для измерения геометрических параметров зеркальных оптических элементов. Цель изобретения - повьпиение помехозащищенности за счет компенсации фазовых возмущений, вносимых в предметный пучок, при вибрациях отражателя. Устройство содержит источник 1 когерентного излучения и светоделитель 2, связанный оптически с системами формирования опорного и предметного пучков, а также два плоских зеркала 7 и 9, установленных напротив отверстия 8, выполненного в рассеивателе 5 1 ил. § (Л 00 ел VI о 4 гч