Изобретение относится к измерительной технике, в частности к уст|Эойствзм дпя измерения геометрических параметров зеркальных оптических элементов, и является усовершенствованием изобретения по авт. св. № 593070.
Цель изобретения - повышение производительности измерения н-зсферическик поверхностей за счет создания условий для одновременного наблюдения полос интер- ферограммы м заранее рассчитйнных полос идеальной мнтерферограммы и быстрого Сра8не1шя структуры этих двух систем полос.
На чертеже представлена принципи- алы-еая схема описываемого устройства.
Устройство имеет последовзтепы-io расположенные источник 1 когерентного иапу- ченил, светодел тель 2, связанный оптически с системой 3 формирования опорного пучка 1/ Злучения и с систег-юй формирования предметного пучка излучения, включа1О1ций блок 4 осеещен ля vi сигнальный канзл, состоящий из отражателя Б, рас- сеивателя G регисгрзторэ 7 излучения. Отражатель 5 установлен на подвижной каретке механизма 8 сдеига. Устройство содержит также источник 9 излучения, транспарант 10 м проецирующую оптическую систему 11, в предметной плоско -лч1 которой расположен транспарант 10, а плоскость рассемвателя 6 является плоскостью изображений оптической системы 11 и одновременно - предметной плоскостью оптической системы 12 наблюдения, установленной в сигнальном канале за регистратором 7 излучений. Транспарант 10 содержит заранее рассчитанную в нумсном масштабе систему полос идеальной иитер- ферограммы контролируемого элемента.
Описываемое устройстпо работает с/из- дующмм образом.
Ф о р м у л а и зоб р е т е н и я
Устройство для / Змере) геометрических параметров зеркальных оптических элементов по авт. св. М 593070, о т л и ч а ю- щ е 8 с я тем, что, с цепью производительности измере 1ия несферических позерхностей, оно снабжено источником излучения, транспарзнто и проэцируюидей оптической системой, устаноаланны.ми по5
Сначала получают на регистраторе 7 излучения голограмму рассеивателя 6с установленным на место отражателя 5 контролируемым зеркальным оптическим элементом. На зтзпе восстановления голограммы при наблюдении голографической интерферограммы регистратор 7 излучения облучают опорным пучком и.злучения, а исследуемый зеркальный оптический злемент- потоком, прошедшим через блок 4 освв ще- ния. Через голограмму, полученную на регистраторе 7 излучения, при посредстве оптической сиетемь 12 формируют изображение интерференционной картины, возни- кающей при сдвиге контролируемого зеркального оптического элемента из исходного поло.м еж-1я, производимом меха- г измом 8 сдвига, и локализованной на поверхности рзссеивателя б. Одновремен0 но на поверхность рассеивателя б с помощью источника 9 излучения и проецирующей оптической системы 11 под- йют изображение транспаранта 10, которое оптической системой 12 совмещается с изоЬ бражением интерферограммы. По различию структуры указанных изображений, которое обнаруживается, например по муаровым полосам, судят об отклонении формы контролируемого зеркального оптического зле0 ментэ от заданной расчетной формы, Контрастное различ.ие цветов источника 1 когерентного и.злучения и источника 9 излучения увеличивает чувствительность обнаружения этих paзли iмй. Использование
5 техники музровых полос сокращает массив обрабатываемы /данных и время, необходиков для математической обработки интер- ферограмм.
v (56) Авторское саидетельство СССР
W: 593070, кл. G 01 В 11/24, 9/021, 1976.
/iF следовательно по ходу этого излучения так, что транспарант размеи ен в предметной плоскости системы, и оптической системой иаблюден14я, рзсположенной в сигнальном к;;)иа/1е за регистратором излучения так, что
дп ее предметная плоскость совмещена с плоскостью изображен лй проецирующей опти- Ч8СКОЙ сиспэмы и с плоскостью расссивйтеля.
Изобретение относитгся к измерительной технике, в частноаи к устройствам для измерения геометрических параметров зеркальных оптичеодах элементов. Цель изобретения - повышевде производительности измерения; несфе зических поверх- нсстей за счет создания условий для одновременного наблюдения полос интерферогрангиы и заранее рассчитанных полос идеальной интерферог- раммы и быстрого сравнения структуры этих двух шстем полос. Через голограмму, полученную на регистраторе 7 излучения, при посредстве оптической системы 12 формир тот изофажение иктерфе- ренциояиой KapiHi-tbt, воаникакнцей при сдвиге контролируемого зеркального оптического элемента из исходного попожеж1Г и локализованной на поверхности рассеизателя 6. Одновременно ма поверхность рассеиваТеля 6 с помощью источника 9 излучен11я м проецирующей опггичесжой системы 11 подают изображение транспаранта 10, которое оп- ти юской системой 12 совмещается с изображени- - ем интерферограммы. ilo различию структуры указанных изображений судят от отклонении формы контролируе 5ого зеркального оптическс -о элемента от заданной расчатнои формы 1ш. ь- Sw/ GQ tsrj L.... НпЛ Inn ч л ы 4 ы QQ ы к
