Контрольная течь Советский патент 1987 года по МПК G01M3/02 

Изобретение относится к технике вакуумных испытаний на герметичность

Цель изобретения - обеспечение возможности регулирования диффузионной контрольной течи путем создания электростатического поля, воздействующего на ионизированный индикаторный газ.

На чертеже изображена схема контрольной течи.

Контрольная течь состоит из металлического герметичного корпуса 1, являющегося анодом, проницаемого элемента диффузионного типа в виде мембраны 2, выполненной из диэлектрического материала и имеющей утонение стенки. Размер пятна утонения стенки и ее толщина определяют начальную величину потока индикаторного газа. На внутреннгою стенку мембраны 2 нанесен слой 5 металла, например ,, являющегося катодом, к которому прикладывается отрицательный потенциал от источника постоянного напряжения (не показан). Внутри корпуса 1 располагается ионизатор 3 газа в кожухе 4.

Регулирование диффузного потока осуществляют следующим образом,

Ионизованные молекулы индикаторного газа под воздействием электростатического поля, возникающего между слоем 5 и корпусом 1, движутся к мембране и рекомбинируют на катоде, что приводит к повышению концентРедактор А.Ревин Заказ 6391/29

Составитель Е.Масленников

Техред И.Попович Корректор А.Тяско

Тираж 776Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

рации пробного газа на внутренней стенке мембраны 2. Поскольку величина диффузного потока зависит от разности концентрации газа на стенках мембраны 2, то повышение концентрации пробного газа на внутренней стороне мембраны 2 приводит к увеличению его потока. Величина диффузионного потока газа регулируется путем изменения напряженности электростатического поля и мощности ионизатора 3.

Предлагаемая контрольная течь (в отличие от известных) позволяет регулировать малые потоки индикаторного газа с точностью до 2%.

Формула изобретения

Контрольная течь, содержащая герметичный металлический корпус с диэлектрическим проницаемым элементом диффузионного типа, заполненный инертным газом, отличающая-

с я тем, что, с целью обеспечения возможности регулирования течи, на внутреннюю поверхность проницаемого элемента нанесен слой металла, являющийся катодом, толщина которого выбрана из условия отсутствия влияния на проницаемость проницаемого элемента, а течь снабжена ионизатором индикаторного газа, размещенным в корпусе, являющемся анодом, и источником

постоянного напряжения, соединенным со слоем металла и корпусом.

Изобретение относится к технике вакуумных, испытаний на герметичность, Целью изобретения является обеспечение возможности регулирования диффузионной контрольной течи путем создания электростатического поля, воздействующего на ионизированный индикаторный газ. Контрольная течь состоит из металлического герметичного корпуса 1, к которому приложен положительный потенциал, и мембраны 2, выполненной из диэлектрического материала . На внутреннюю стенку мембраны нанесен слой 5 металла, к которому прикладывается отрицательный потенциал. Внутри корпуса располагается ионизатор газа 3 в кожухе 4. Регулирование диффузного потока осуществляется путем ионизации молекул индикаторного газа, создания с помощью электростатического поля направленного перемещения ионов на мембрану, где ионы рекомбинируют, повьппая концентрацию индикаторного газа и поток через проницаемый элемент. 1 ил. i (Л iUMfc«I M U H B Mb iiUi 1 / ОЭ О5 Ю СО ас CD 1 т