Графитовый тигель для получения монокристаллов карбида кремния Советский патент 1961 года по МПК C23C16/30 

ОсуществленИе способа получения монокристаллов карбидов кремния кристаллизацией из расплава кремния затрудняется отсутствием подходящего материала тигля для расплавления кремния. Кварцевые тигли при перегреве, необходимом для выращивания монокристаллов карбида кремния, размягчаются, что вызывает выбросы кремния; тигли даже из графита высокой плотности пропускают кремний.

Описываемый способ подготовки графитового тигля позволяет использовать последний для выращивания монокристаллов карбида кремния. Сущность способа заключается в том, что графитовый тигель подвергают нагреву до 1000-1200° в атмосфере предельных углеводородов, например в атмосфере гептана, в результате чего повер.хность тигля и внутри и снаружи покрывается пироуглеродом, что повышает стойкость тигля.

Предмет изобретения

Графитовый тигель для получения монокристаллоВ карбида кремния путем выращивания из расплава кремния, отличающийся тем, что, с целью повыщения стойкости тигля, его подвергают нагреву при 1000-1200° в атмосфере предельных углеводородов, например в гептане.