Устройство для нанесения покрытий из растворов Советский патент 1988 года по МПК C03C17/00 

(Л

со

О) Од 4 СО

Изобретение относится к химическим методам получения тонких пленок, в частности к нанесению покрытий из гидролиэующихся растворов на подложки .

Цель изобретения - повышение качества покрытий, упрощение конструкции и улучшение условий обслуживания.

В устройстве для нанесения покрытий из растворов на подложки, содержащем Kojlnyc с крышкой и установлен- ньй в нем шпиндель, крьшка выполнена в виде усеченного конуса, к основанию которого примыкает пористьш материал, причем угол наклона образующей конуса равен 10-25°, а диаметр усеченной части конуса больше одного но меньше двух диаметров подложки.

При выполнении крьшки в виде усеченного конуса с углом наклона образующей конуса 10-25°, к основанию которого примыкает пористый материал, брызги растворов, оторвавшись от поверхности вращающейся подложки, достигают крышки и, не отражаясь, растекаются По ее поверхности к основанию корпуса, где впитываются пористым материалом. Таким образом,

брызги растворов отводятся от поверхности подложки и исключается их попадание на нее, что повьшает качество покрытий.

Выполнение усеченной части .конуса больше одного, но меньше двух диаметров подложки значительно уменьшает свободное движение раствора от поверхности подложки к поверхности крышки, а значит распыление его в воздухе, что также повьш1ае1; качество покрытий и вместе с тем позволяет вести установку - съем и подготовку подложки без снятия крьш1ки, что упрощает конструкцию, уменьшает габариты и облегчает обслуживание устройства.

На чертеже изображено устройство для нанесения покрытий из растворов на подложки, общий вид.

Устройство содержит цилиндрически корпус 1 с крышкой 2, выполненной в виде усеченного конуса.

К основанию крьш1ки 2 примыкает пористый материал 3 (например, пенополиуретан) . В корпусе 1 установлен шпиндель 4 для крепления подложки 5.

Устройство работает следукшщм образом.

Подложка 5 устанавливается в непо диижный шпиндель 4 через отверстие

в крьш1ке 2, размер которого больше одного, но меньше двух диаметров подложки, что позволяет легко выполнять установку - съем подложки в шпинделе И вести подготовку подложки без съема крьш1ки. После установки на шпиндель 4 с подложкой 5 от электродвигателя передается вращательное движение

и выполняется подготовка подложки, затем на подложку через отверстие в крышке наносится раствор. При попадании на вращающуюся подложку раствор под действием центробежных сил расстекается по ее поверхности, отрывается от края подложки, достигает крьш1ки и, не отражаясь, расстекается по ее поверхности, выполненной в виде усеченного конуса, в радиальном направлении к основанию конуса, где

впитывается пористым материалом. Угол: наклона образующей конуса составляет 10-25°, что исключает отражение раствора от поверхности крьшжи при его

соударении с ней и в то же время

обеспечивает движение раствора по поверхности крьш1ки без отрыва от нее, вплоть до основания конуса с пористым материалом. Это обеспечивает надежный отвод раствора от поверхности подложки и устраняет его из зоны, находящейся между корпусом и крьш1- кой, что исключает его попадание на поверхность подложки и, следовательно, повьшает качество покрытий.

После окончания центрифугирования останавливается шпиндель с подлож- кой 5 и подложка снимается через отверстие в крышке 2. В дальнейшем цикл повторяется.

Предлагаемое устройство позволяет 45 повысить качество покрытий за счет надежного отвода растворов от поверхности подложки и устранения воз- можности распыления и завихрения их в зоне подложки при столкновении ра- 50 створов с поверхностью крьш1ки. Учитывая, что сила трения скольжения растворов по поверхности крьш1ки вслествие их структурной вязкости значительно вьш1е, чем сопротивление при 55 движении растворов в воздухе, расстояние от края подложки до полной остановки растворов при их радиальном движении уменьшается, а следовательно, уменьшаются и габариты устройства. Кроме того, при таком выполнении устройства стало возможным его обслуживание без съема крышки, что значительно упростило конструкцию и улучшило условие обслуживания устройства.

Преимущество предлагаемого уст- ройс.тва по сравнению с известным заключается в уменьшении дефектов покрытий оптических деталей на 20-30% за счет устранения возможности попадания на поверхность подложки отраженных брызг растворов при центрифугировании.

Форм.ула изобретения Устройства для нанесения покрытий из растворов на подложки, содержащее корпус с крышкой и установленный в нем шпиндель для крепления подложки, отличающееся тем, что, с целью повышения качества покрытий, упрощения конструкции и улучшения условий обслуживания, крышка выполнена в виде усеченного конуса с углом наклона образуницей 10-25°, с диаметром усеченной части конуса больше одного, но меньше двух диаметров подложки,- а мелйУ корпусом и крьш1кой размещена пористая прокладка«1

Изобретение относится к обработке поверхности стекла, а именно к химическим методам нанесения тонких пленок из гидролизирующихся растворов на подложки. С целью повышения качества покрытий, упрощения конструкции и улучшения условий обслуживания устройство содержит корпус 1 с крьшкой 2 и установленный в нем шпиндель 4, крышка 2 выполнена в виде усеченного конуса с углом н клона образующей 10-25° и диаметром усеченной части конуса больше одного, но меньше двух диаметров подложки, а между корпусом и крышкой размещена пористая прокладка 3. Брызги растворов отводятся от поверхности подложки и исключается их попадание на нее, что повышает качество покрытия. 1 ил.