Молекулярный вакуумный насос Советский патент 1988 года по МПК F04D19/04 

(Л

со

05

&/

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в молекулярные вакуумных насосах.

Целью изобретения является повышение надежности.

На фиг.1 показана схема вакуумного молекулярного насоса, продольный разрез; на фиг.2 - перегородка с лепестками.I

Молекулярный вакуумный насос содержит корпус 1, размещенные в нем статорные диски 2 с торцовыми спиральными перегородками 3, образующими каналы 4, вертикальный ротор 5 с магнитным подвесом 6 и роторными дисками 7, причем каждая перегородка 3 выполнена из упругого материала и снабжена лепестками 8, перекрывающими друг друга в радиальном направлении.

Лепестки 8 имеют высоту не менее 0,5 высоты перегородки 3.

Насос содержит также входной патрубок 9 и выходной патрубок 10.

Молекулярный вакуумный насос работает следующим образом.

Ротор 5 вывешивается в магнитном поле подвеса 6, поддерживается на заданном уровне с помощью элек- тронной схемы регулирования тока подвеса 6 и раскручивается электродвигателем до рабочей частоты вращения (схема и двигатель не показаны) Откачиваемый газ поступает во входной пат, 9, далее на вход первой ступени, образованной поверхностью нижнего статорного диска 2 и

нижней поверхностью нижнего роторного диска 7, и перемещается вдоль спиральных каналов 4 от центра к периферии насоса. Затем газ диффундирует на вход второй ступени откачки, образованной верхней поверхностью нижнего роторного диска 7 и нижней поверхностью среднего статорного диска,

движется от периферии к центру насоса и далее до выхода через выходной патрубок 10. В аварийной ситуации роторные диски, касаясь других перегородок 3, не деформируются, а лепестг ки 8 после торможения восстанавливают свою форму.

Таким образом, такое выполнение насоса исключает повреждение роторных дисков при аварии, за счет чего

0 повьшается надежность насоса.

Формула изобретения

1.MQлeкyляpный вакуумньй насос, содержащий корпус, размещенные в нем

5 статорные диски с торцовыми спиральными перегородками, образующими каналы, вертикальный ротор с магнитньш подвесом и роторными дисками, отличающийся тем, что, с це0 лью повышения надежности, каждая перегородка выполнена из упругого материала и снабжена лепестками, перекрывающими друг друга в радиальном на- направлении.

2.Насос ПОП.1, отличающийся тем, что лепестки имеют высоту не менее 0,5 высоты перегородки.

ТТ

Изобретение позволяет повысить надежность насоса. Каждая спиральная перегородка 3 статорных дисков 2 выполнена из упругого материала и снабжена лепестками. Лепестки перекрывают друг друга в радиальном направлении и имеют высоту не менее 0,5 от высоты перегородки. Такое выполнение насоса, исключает повреждение роторных дисков при аварии, так как они, касаясь перегородок, не деформируются, а лепестки после торможения восстанавливают свою форму. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

11 п г п /гпттп 111

фив,2