Устройство для обработки монокристаллов Советский патент 1988 года по МПК B28D5/02 

(Л

со

00

о со к|

со

Изобретение относится к обработке монокристаллов, а именно к разрезке водорастворимых кристаллов, и может быть использовано в электронной промышленности .

Целью изобретения является расширение технологических возможностей и уменьшение габаритов.

На чертеже представлено устройство для обработки монокристаллов, общий вид.

Устройство содержит стойку 1 с втулками 2, в которых вращаются полые шпиндели 3 с подвижными рычагами А. Рычаг 4 на одном конце (подвижном) имеет ролик 5, а на другом конце - ролик 6. Через эти подвижные ролики и ролики 7, которые крепятся к стойке, проходит режущая нить 8, приводимая в движение электродвигателем с помощью приводного ролика 9. Нуж- - ное натяжение нити осуществляется подпружиненным роликом 10.

Fla полые оси 3 установлены сменные поддерживающие планшайбы 11, с помощью которых поддерживается кристалл и одновременно задается необходимый диаметр. С помощью рычагов А меняется и тем самым - диаметр вырезаемой заготовки.

Полые оси 3 с рычагами 4 вращаются с помощью грузов 12. Нить смачивается растворителем из капельницы 13. Монокристалл 14 устанавливается на кристаллодержатель 15.

Устройство работает следующим образом.

Монокристаллическая буля 14 устанавливается на кристаллодержатель 15. Вырезаемый участок кристалла охватывается планшайбами 11 и вручную подводится стойка 1. Подвижный рычаг 4

0

5

0

5 0

5

0

устанавливается на такой угол, чтобы режущая нить 8, пройдя через ролики 5 и 6, описала нужный диаметр товки. Включается электродвигатель приводного ролика 9 (сам электродвигатель на чертеже не показан) и режущая нить 8, опираясь на ролики 7 и 10, совершает поступательное движение. Ролик 10 поддерживает режущую нить в натянутом состоянии. Затем подвешиваются грузы-противовесы 12, которые начинают вращать полые оси 3 во втулках 2, укрепленных на стойке 1 вместе с нитью 8, совершающей поступательное движение. Настраивается капельница 13 на необходимое количество капель. Режущая нить 8 врезается в монокристалл 14, доходит до планшайбы 11, которые совместо с подвижным рычагом 4 определяют диаметр вырезаемой заготовки. Давление нити 8 на кристалл 14 определяется грузами-противовесами 12.

Формула изобретения

Устройство для обработки монокристаллов, включающее стойку с установленными на ней шпинделями, оснащенными планшайбами, направляющие режущую нить ролики, смонтированные на подвижных и неподвижных рычагах, приспособление для смачивания нити, отличающееся тем, что, с целью расширения технологических возможностей и уменьшения габаритов, стойка выполнена в виде скобы, на встречно расположенньгх концах которой смонтированы шпинделя, при этом каждый из шпинделей выполнен полым, внутри которого установлен подвижный рычаг, а режущая нить пропущена внутри шпинделя по оси его вращения.

Изобретение относится к области обработки монокристаллов, а именно к резке водорастворимых кристаллов смоченной нитью, и может быть использовано в электронной промышленности. Целью изобретения является расширение технологических возможностей и уменьшение габаритов устройства. Цель достигается тем, что в устройстве стойка выполнена в виде стойки 1, на внутренних поверхностях которой смонтированы шпиндели 3, при этом каждый из шпинделей выполнен полым и внутри него установлен подвижный рычаг 4, имеющий возможность совместного вращения со шпинделем, а режущая нить 8 проходит внутри него по оси вращения. 1 ил.