Четырехзондовая головка для измерения удельного сопротивления материала Советский патент 1983 года по МПК G01R1/67 H01L21/66 

О

со

СП

о

00

eg Изобретение относится к техничес кой физике, метрологии и стандартизации, и может быть использовано в металлургии, электротехнической и эле тронной промышленности, научно-иссле вательских учреждениях АН и МВиССО при определении удельного сопротивл ния материалов (например, полупроводниковых) . Известна конструкция зондового устройства, содержащая корпус, зонд и прижимную систему 1. Недостатком данной конструкции является то, что невозможно разместить зонды с малым шагом и сложное выполнение прижимной системы. Наиболее близкой к предлагаемой по технической сущности является четырехзондовая головка для измерения удельного сопротивления материа ла, содержащая корпус, зонды с токо съемниками, установленные на корпусе, и прижимную систему 2. Недостатком известной конструкци является то, что усилие на каждый .из четырех зондов обеспечивается с помощью четырех самостоятельных пружин-токосъёмников, т.е. зависит от неровности контролируемой поверх ности, точности регулировки и посто янства упругих свойств пружин. Цель изобретения - повышение точности измерения и технологичност конструкции. Поставленная цель достигается I тем, что в четырехз.ондовой головке для измерения удельного сопротивлёния материала, содержащей корпус, зонды и токосъемники, установленные на корпусе, и прижимную систему, прижимная система выполнена в виде двух равноплечих изолирующих рычаГов, расположенных симь етричНо .отно сительно токосъемников и опирающихс своими плечами на середины смежных токосъемников,.и четырехплечего рычага, два противоположных плеча которого установлены на корпусе шар нирно с возможностью взаимодействия двух его других плеч с серединами изолирующих рычагов, а смежные токосъемники установл зны взаимно перпендикулярно. На фиг. 1 приведена четырехзондовая головка для измерения удель-. ного сопротивления материала, общий вид; на фиг. 2 - основание поверхностно-контактной системы с расположенными на нем элементами рычажноконтактноя системы.: Четырехзондовая головка содержит корпус 1, нажимную пружину 2, основание 3 .поверхностно контактной системы, точечные зонды 4, держатель 5 поверхностно-контактной, системы, гайку б, отсчетную шкалу 7, токосъемники 8-11, равноплечие изолируг ющие рычаги 12-13, четырехплечий рычаг 14, электровводы 15-Г8, контролируемую поверхность 19. При установлении головки на контролируемой поверхности 19 материала так, что Ось симметрии зондов перпендикулярна поверхности и проходит через выбранную точку на поверхности, а на шкале 7 усилий фиксируется заданное усилие на каждый зонд, все элементы прижимной системы приходят во взаимодействие. Усилие, развиваемое прижимной пружиной 2 и прикладываемое через держатель 5 к основанию 3 поверхностно-контактной системы, далее через четырехплечий рычаг 14, изолирующие рычаги 12-13 и токосъемники 8-11 равномерно распределяется между зондами, обеспечивая равное и контролируемЬе усилие на каждый зонд., Таким образом, использование предлагаемой зондовой головки для определения удельного сопротивления материала обеспечивает по сравнению с известными повышение точности определения удельного сопротивления (обеспечение равного усилия на каждый зонд)при температуре отличной от комнатной (нормальной), определение удельного сопротивления материала при установке зондовой головки на неплоской поверхности.

(pu.i

/7

/6W

ЧЕТЫРЕХЗОНДРВАЯ ГОЛОВКА 1Ш ИЗМЕРЕНИЕ УДЕЛЬНОГО а ПРОТИВЛЕНИЯ МАТЕРИАЛА, содерЖ Ш1ая корпус, ёояда и токосъемники, установленные на .1 ВСЕСЗШ-Ц , In . . I 11: а;гПч; иь: й I КШ ЛЛ01ЬЯА корпусе, и прижимную систему, о т л и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью повышения точности измерения и технологичности конструкции, при- i .жимная система выполнена в виде двух равноплечих изолирующих рычагов, расположенных симметрично относительно токосъемников и опирающихся своими Плечами на середины смежных токосъемников, и чётырехплечёго - . йлЧага, два противоположных Плеча которого шарнирно установлены на корпусе с возможностью в аимодейст,вия дйух его других противоположных 1плеч с серединаШ изолирующих, рычагов, а смежные токосъемники устанойлены взаимно: перпендикулярно. j