Способ получения многокомпонентных ферромагнитных пленок катодным распылением Советский патент 1961 года по МПК C23C14/36 H01F10/20 H01F41/18 H01F41/18 

Известны способы получения многокомпонентных пленок катодным распылением. Однако эти способы не позволяют получить пленки однородного состава.

Для получения более однородного состава пленки и ускорения процесса распыления предлагается способ, в котором исходный ферромагнитный материал подвергают катодному распылению в магнитном поле.

По предлагаемому способу ферромагнитные пленки получают в газоразрядной плазме при большой плотности тока и низком давлении. Плазма в инертном газе - криптоне создается в трехэлектродной трубке, куда в пространство между катодом и анодом вводят образцы. На образцы подают отрицательные относительно катода потенциалы. На расстоянии 2-3 см от распыляемого образца помещают стеклянную подложку, на которую осаждают распыляемый материал. Подложку подогревают спиралью, питаемую электрическим током. Для того, чтобы задать направление оси намагничения пленки, осаждение ее ведут в. магнитном поле (около 175-200 эрст), которое дополнительно концентрирует плазму, стагивая ее в область распыляемого образца. Это увеличивает плотность тока и ускоряет процесс распыления.

Предложенным способом были получены качественные пленки ко бальта, кремнистого железа, молибденового пермоллоя с доменной структурой. Петли гистерезиса, снятые с полученных пленок, оказались прямоугольными при величинах коэрцитивной силы, соответствующих требованиям.

Предмет изобретения

Способ получения многокомпонентных ферромагнитных пленок катодным распылением, отличающийся тем, что, с целью получения более однородного состава пленки и ускорения процесса раопыления, исходный ферромагнитный материал подвергают катодному распылению в магнитном поле.