Способ изготовления тонких ферромагнитных пленок с прямоугольной петлей гистерезиса Советский патент 1961 года по МПК C23C16/16 

Известны способы получения тонких ферромагнитных пленок с прямоугольной петлей гистерезиса, основанные на электролитическом или вакуумном осаждении 1металлов.

Предлагаемый способ изготовления тонких ферромагнитных тонких пленок с прямоуго. петлей гистерезиса из сплавов келеза, никел;я и кобальта в отличие от известных основан на разложении паров карбонилов этих металлов на окись углерода и металл при соприкосновении паров карбонилов с горячей подложкой, на которой производится осаждение. Для получения магнитной структуры плепки пеферромагнигную камеру, в которой производится разложение паров карбонилов. помещают в магнитное поле.

На чертеже показана схема установки для осуществления описы.BaejMoro способа.

Установка состоит из основания /, стеклянного колпака 2, двух электроплиток 5 и - и катушки Гельмгольца 5. Основание / снабжен патрубком 6 для откачки воздуха из-под колпака 2.

Для изготовления ферромагнитной пленки смесь карбонилов, например железа и никеля, наливается в сосуд 7, который помещается пд : лектроплитку 3. На электроплитку 4 помещается подлол ка для осаждения ферромагнитной пленки, например пластинка или лента из стекла или высокотемпературной пластмассы. Затем надевается колпак 2 и с помощью вакуумного насоса из рабочего пространства камеры откачивается воздух. С помощью катушки Гельмгольца 5 в камере создается однородное магнитное поле, направленное вдоль поверхности подложки 8. С помощью электроплитки 3 смесь карбонилов в сосуде 7 нагревается до получения давления паров карбонилов, близкого к атмосферному. С помощью плитки подложка 8 нагревается до нужной температуры.

139029

При соприкосновении с горячей подложкой пары карбонилов разлагаются на металл и окись углерода. Количество смеси карбонилов, температура их нагрева, а также температура подложки 8 выбираются таким образом, чтобы получался однородный слой пленки заданной толщины- от 200 до 2000 ангстрем. Напряженность магнитного поля выбирается в пределах от 10 до 100 эрстед.

Получаемые описанным способом ферромагнитные пленки имеют прямоугольную петлю гистерезиса и коэрцетивную силу в пределах 15-25 эрстед. Для снижения коэрцетивной силы до 5-10 эрстед пленку следует подвергнуть отжигу в магнитном поле при температуре 300-600° в атмосфере водорода или другого защитного газа.

Описанный способ прост, технологичен, обеспечивает получение пленок заданного состава и с успехом может быть применен особенно в тех случаях, когда требуется получить ферромагнитную пленку на поверхности сложной конфигурации.

Предмет изобретения

Способ изготовления тонких ферромагнитных пленок с прямоугольной петлей гистерезиса из сплавов железа, никеля, кобальта, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологии и обеспечения по -чучения пленок заданного состава, смесь карбонилов железа, нике.ля, кобальта нагревают в замкнутой неферромагнитной камере, полученные пары при соприкосновении с горячей подложкой разлагают на окис углерода и сплав железа, никеля, кобальта, который осаждают на горячей подложке в виде тонкой пленки, и магнитную структуру пленки получают, помещая камеру в магнитном поле.