Способ управления параметрами вибродвигателя с прямыми ударами Советский патент 1988 года по МПК B06B1/06 

преобразователя 6 и 7. Электроды каж-20 способ для динамического управления

параметрами вибродвигателя в различных прецизионных,устройствах, например в позиционирующих столах субмикронной фотолитографии для достижения

дого преобразователя разделены на три продольные зоны 8 и 9. Центр альная зона 8 подключена напрямую к генератору 10 высокочастотных колебаний с

Изобретение относится к приборостроению. Цель изобретения - обеспечение динамического изменения параметров вибродвигателя с прямыми ударами путем динамического управления коэффициентом восстановления удара. При подаче напряжения генератора 10 на центральную зону электрода 8 преобразователя последний начинает совершать резонансные продольные колебания, а в зоне соударения со стенкой столика 4 возникают однонаправленные ударные импульсные силы, величина которых определяется восс.та- новленным ударным импульсом, в свою очередь, зависящим от коэффициента восстановления удара. Режим работы вибродвигателя зависит от стабильности виброударного процесса, которая определяется коэффициентом восстановления удара. 4 ил. с

частотой f.g , а две другие зоны 9 под- 25 оптимальных величин

выполнении отличных к ним требованиям т операций (например ционирование, высок ние и т.д.), к котор одновременные требов действию и точности

ключены к нему через умножитель 11 частоты и усилитель 12. Кратность умножения частоты п 2...10.

Устройство работает следующим образом,

При подаче напряжения генератора 10 на центральную зону В электрода пьёзопреобразователя 7 последний начинает совершать резонансные продольные колебания, а в зоне соударения со.стенкой столика 4 возникают однонаправленные ударные импульсы силы, величина которых определяется восстановленным ударным импульсом, зависящим от коэффициента восстановления удара R (фиг.1). Режим работы вибродвигателя зависит от стабильности виброударного процесса, которая определяется коэффициентом восстанов

ления удара, и в этом случае для дан- g подбора характеристик соударяемых

ного режима параметры вибродвигателя (средняя скорость, разрешающая способность и т.д.) имеют свои определенные значения.

При дополнительной подаче напряжения через умножитель 11 частоты и усилитель 12 на две крайние зоны электрода в пьезопреобразователе возэлементов в момент соударения в зо соударения ударяющему элементу соо щают дополнительные колебания в пл кости, нормальной к плоскости удар gQ ных колебаний, при этом частота до полнительных колебаний выбирается условия f nfo, где fо - частота ударных колебаний, п 2..,10,

оптимальных величин

параметров при выполнении отличных по предъявляемым к ним требованиям технологических операций (например скоростное позиционирование, высокоточное выставление и т.д.), к которым предъявляются одновременные требования по быстродействию и точности.

ормула изобретения

Способ управления параметрами вибродвигателя с прямыми ударами, вклю чающий возбуждение вибродвигателя и изменение коэффициента восстановления скорости удара путем подбора характег ристик соударяемых элементов, отличающийся тем, что, с целью обеспечения динамического управления параметрами вибродвигателя, после

элементов в момент соударения в зоне соударения ударяющему элементу сообщают дополнительные колебания в плоскости, нормальной к плоскости удар- gQ ных колебаний, при этом частота дополнительных колебаний выбирается из условия f nfo, где fо - частота ударных колебаний, п 2..,10,

и

efл

I

1 1..J

vf

vf

Фиг.1

у X ч