Способ измерения ширины линий рисунка на объектах, содержащих прозрачные и непрозрачные зоны Советский патент 1993 года по МПК G01B11/02 

1 . ...

Изобретение относится к изМери- тельной технике и может быть исполь зовано для измерения ширины линий „ рисунка на объектах, например на фотошаблонах в литографии.

Цель изобретения - повьшхение точности измерения.

Способ осуществляется следующим образом.

Объект, содержащий прозрачные. И . непрозрачные зоны, освещают пучком . линейно поляризованного оптического излучения, собирают прошедшее через. объект излучение, иайример, объективом микроскопа и формируют изображение измеряемой линии. Затем регист- рируют профиль распределения интен-- -fr9-

, сивности в изображении по 1нирине линии и по ширине регистрируемого про- . фйля и определяют ширину измеряемой линии. При измерении ширины прозрачной линии пучок ориентируют так, что вектор магнитной напряженности параллелен границам линии, а при измерении ширины непрозрачной линии пучок ориентируют так, что вектор электрической напряженности параллелен границам .

Использование при измерении линейно поляризованного оптического из- лучения с указанными вьш:е свойствами позволяет получить прямоуголыше рас- пределекие интенсивности в плоскости объекта. В .этом случае теория форми 1461125

.рования изображений в оптическом излучения сойи|)ают прошедшее через микроскопе указьгоаёт, что границам объект излучение, формируют иэобра- линии соответствуют точки имеюпще в женйё измеряемой линии, регистрируют изображении интенсивностьj составляю- профиль распределения интенсивности щую одну и ту зке долю интенсивности в изображении по ширине линии и по от интенсивности падающего пучка,что ширине регистрируемого профиля позволяет определить ширину линии точками, соответствующим границам по измерению ширины профиля распреде- линии, определяют ширину линии,о т- ,Яения интенсивности -в «зображетш ли-iю л и ч а ю щ и и с я тем что, с НИИ мелсду точками, интенсивность в целью повышения точности измерения, которых однозначно определяется сте объект освещают линейно прляризован- пень когерентности используемого из- ным излучением, при изме1 ении проз- лучения. ., рачной линии пучок из/огчения оривнФ о т м у я аи 9 о б ре т ей я я |1в тируют так, что вектор магнитной н йпряженно1Сти параллелен границам лиСпособ измерения ширины линий ри- кии, а при измерении непрозрачной ли- еунйа ка объектах,содержат Т1розрачнь1е нии пучок излечения ориентируют так, и непрозра:чныезоны,заключаюг сй втом, что вектор электрической напряжённос- что объект освещают пучком оптического 20 параллелен границам линии.

Изобретение относится к измери- тельной технике и может использоваться для измерения ширины линий рисунка иа объектах, например в mi to- графии. Цель - повышение точности измерения - достигается путем умень шения погрешности измерения, вызванной неправильным выбором поляризации. Объект освещают пучком линейно поляризованного оптического излучения, собирают прошедшие объект излучения, .формируют изображение кзмеряе мой линии, регистрируют профиль рис- преде ления интенсивности в изображении по ширине, и по ширине регистрируемого профиля определяют ширину линии. При измерении йирины прозрачной линии пучок ориентируют так,что вектор магнитной напряженности параллелен границам линии, а при измерении. ширины непрозрачной ли1ши пучок ориентируют так, что вектор электрической напряженности параллелен границам линии.. . Л С