Способ определения газопроницаемости вакуумного покрытия Советский патент 1988 года по МПК G01N7/00 

W

С

Изобретение относится к те.хнологии оптического приборостроения и может быть использовано в качестве метода контроля и исследования свойств вакуумных покрытий на подложках из стекла. Цель - измерение газопроницае.мости тонкого вакуумного покрытия. На подложку наносят покрытие из пористого стекла, а затем непрерывно взвешивают и определяют газопроницаемость покрытия по изменению массы подложки.

о:

4 1С

Изобретение относится к технологии оптического приборостроения и может быть |использоЁано в качестве метода контроля |свойств вакуумных покрытий. Цель изобретения - измерение газопроницаемости тонких пленок.

Пример. На полированную подложку из пористого стекла ДВ-IM в виде диска ф 18,5 мм и d 0,43 мм наносят покрытие JTiOs гидролизом паров TiCl- Затем под- ложку с покрытием на тонкой калиброванной спиральной пружине (чувствительностью 2,54 мг/мм) помещают в трубку, которую термостатируют при Т 20,0 + 0,1°С. Затем в этой трубке создают постоянное давление паров воды (17,54 мм рт. ст.) и проводят непрерывный отсчет изменения положения образца ( А ±0,02 мм) и времени взвешивания ( + 1 с). Результаты эксперимента изображают в координатах m/S f(t), рассчитывают (dm/dt)/S и Д (dm/ /dt )/S. Проницаемость данного покрытия составила Р 0,,006. Измерения потребовали 2 ч (исключая время нанесения покрытия) .

Формула изобретения

Способ определения газопроницаемости вакуумного покрытия, заключающийся в регистрации поличества поглощенного газа, прошедшего через покрытие, по изменению массы поглощающего элемента и расчета по этому изменению газопроницаемости, отличающийся тем, что, с целью измерения газопроницаемости тонких пленок, пленку наносят непосредственно на поглощающий элемент, а в качестве поглощающего элемента используют пористое стекло.