Устройство для перемещения в вакууме Советский патент 1988 года по МПК F16K31/50 F16H25/22 

ел

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к конструкции устройств для поступательного перемещения деталей в вакууме, и может быть использовано в микроэлектронике, электровакуумном производстве для перемещения деталей электровакуумных и фотоэлектронных приборов в вакууме методом переноса и других областях.

Цель изобретения - повышение долговечности и нагрузочной способности устройства.

На фиг. 1 показано предлагаемое устройство, продольный разрез; на фиг. 2 - вид А на фиг. 1; на фиг. 3 - вид Б на фиг. 1; на фиг. 4 - разрез В-В на фиг. 1.

Устройство имеет корпус 1, в основании которого смонтированы две и более направляющие 2, скрепленные на противоположных концах фланцев 3. Фланец 3 и основание корпуса 1 снабжены опорами 4 качения

служит специальная электротехническая сталь.

Устройство для перемещения в вакууме работает следующим образом.

При включении электромагнитной катушки 19 и электродвигателя 20 привода I вращение передается через муфту 21 ведущему звену 16 привода 1. Магнитный поток, создаваемый неподвижной электромагнитной катущкой 19, замыкается через зубья ведущего 16 (наружного) и ведомого 14 (внутреннего) звеньев, образуя своего рода их сцепление. При этом магнитный поток, создаваемый катущкой 19, заставляет вращаться ведомое звено 14 синхронно ведущему 5 звену 16. Ведомое звено 14, находящееся в рабочем пространстве вакуумной камеры, вращается в подщипниках 15 и через муфту 13 передает вращение резьбовым щто- ком 6, скрепленным планками 5 с полуосями. При их вращении витки резьбы щтоков 6,

10

с вращающимися планками 5 с полуосями, 20 находящиеся в зацеплении с внутренней на которых симметрично продольной осирезьбой гаек 7, обкатываются по ее внутсмонтированы два или более резьбовых што-ренней поверхности и перемещают гайку 7 и

ка 6, взаимодействующих с резьбой гаек 7. Резьбовые щтоки 6 имеют резьбу одина(например, правую 25

кового направления

резьбу) и установлены внутри дисков 8. Гайки 7 через промежуточные опоры 9 качения и диски 8 с опорами качения К соединены с обоймой 10, на которой устанавливают перемещаемую деталь 11. Обойма 10 снабжена зубьями, выполненными на ее внутренней поверхности, и направляющими втулками 12, выполненными из неметаллических материалов (например, на основе керамики), охватывающими направляющие 2. Вращающиеся планки 5 с полуосями сое30

установленные на ней промежуточные опоры 9 качения, диски 8 и обойму 10 с опорами качения Кис деталью 11 в направлении продольной оси устройств, совпадающей с осью делительной окружности зубчатого венца, нарезанного на внутренней поверхности обоймы 10.

Формула изобретения

1. Устройство для перемещения в вакууме, содержащее корпус с направляющими, эксцентриковую обойму, внутри которой размещена гайка, взаимодействующий с послед- динены через муфту 13 с ведомым звеном 14. 35 ней резьбовой шток, соединенный с кор- По.следнее выполнено в виде цилиндричес-пусом посредством промежуточных элеменкого ротора с зубьями по его наружной тов, и элемент герметизации, отличающееся поверхности, смонтированного на щарнко- тем, что, с целью повышения нагрузочной подшипниках 15 в вакуумном объеме. Be- способности и долговечности, гайки имеют

дущее звено 16 выполнено в виде охватывающего звено 14 толстостенного стакана (статора) с зубьями по его внутренней поверхности, смонтированного на шарикоподшипниках в корпусе 1 привода. Ведомое 14 и ведущее 16 звенья имеют одинаковое число зубьев. В зазоре между звеньями 14 д и 16 расположен один элемент 17 герметизации - неподвижная герметичная немагнитная обечайка толщиной 0,5 мм в виде цилиндрического экрана с донышком. Элемент 17 уплотняется относительно плиты

зубья на наружной поверхности, а уст- ройство снабжено по крайней мере одним дополнительным, аналогичным основному, резьбовым штоком с гайкой, имеющей на наружной поверхности зубья, обойма размещена симметрично относительно оси корпуса и на ее внутренней поверхности выполнены зубья для взаимодействия с зубьями наружной поверхности гаек, а промежуточные элементы установлены с возможностью вращения вокруг оси обоймы и выполнены в

виде планок, жестко связанных с резьбо- прокладкой 18. Снаружи веду- 50 выми штоками.

2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что элемент герметизации выполнен в виде недеформируемого экрана, внутри которого установлено ведомое звено, соединенное с одной из планок.

корпуса

щего звена 15 установлена неподвижная электромагнитная катушка 19, а соединение звена 16 с электродвигателем 20 привода осуществлено с помощью муфты 21. Материалом для изготовления звеньев 14 и 16

служит специальная электротехническая сталь.

Устройство для перемещения в вакууме работает следующим образом.

При включении электромагнитной катушки 19 и электродвигателя 20 привода I вращение передается через муфту 21 ведущему звену 16 привода 1. Магнитный поток, создаваемый неподвижной электромагнитной катущкой 19, замыкается через зубья ведущего 16 (наружного) и ведомого 14 (внутреннего) звеньев, образуя своего рода их сцепление. При этом магнитный поток, создаваемый катущкой 19, заставляет вращаться ведомое звено 14 синхронно ведущему 5 звену 16. Ведомое звено 14, находящееся в рабочем пространстве вакуумной камеры, вращается в подщипниках 15 и через муфту 13 передает вращение резьбовым щто- ком 6, скрепленным планками 5 с полуосями. При их вращении витки резьбы щтоков 6,

0

0 находящиеся в зацеплении с внутренней резьбой гаек 7, обкатываются по ее внут

установленные на ней промежуточные опоры 9 качения, диски 8 и обойму 10 с опорами качения Кис деталью 11 в направлении продольной оси устройств, совпадающей с осью делительной окружности зубчатого венца, нарезанного на внутренней поверхности обоймы 10.

Формула изобретения

зубья на наружной поверхности, а уст- ройство снабжено по крайней мере одним дополнительным, аналогичным основному, резьбовым штоком с гайкой, имеющей на наружной поверхности зубья, обойма размещена симметрично относительно оси корпуса и на ее внутренней поверхности выполнены зубья для взаимодействия с зубьями наружной поверхности гаек, а промежуточные элементы установлены с возможностью вращения вокруг оси обоймы и выполнены в

VU,Z.1

9Uj.2

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к конструкции устройств для перемещения деталей электровакуумных и фотоэлектронных приборов в вакууме метолом переноса и др. областях. Устройство позволяет повысить долговечность и нагрузочную способность оборудования. Для этого гайки имеют зубья на наружной поверхности, а устройство снабжено по крайней мере одним дополнительным, аналогичным основному, резьбовым штоком с гайкой, имеющей на наружной поверхности зубья, обойма расположена симметрично относительно оси корпуса и на ее внутренней поверхности выполнены зубья для взаимодействия с зубьями наружной поверхности гаек. Промежуточные элементы установлены с возможностью вращения вокруг оси обоймы и выполнены в виде планок, жестко связанных с резьбовыми П1токами. Элемент герметизации выполнен в виде недеформируемого экрана, внутри которого установлено ведомое звено, соединенное с одной из планок. 1 з.п.ф-лы, 4 ил.

В ид В

/Г

аг. J

В-8

J2

fas.