Турбомолекулярный вакуумный насос Советский патент 1988 года по МПК F04D19/04 

Вь/ход

хладагента

B)(off мадагента

СО

4

00

NJ

со

СП

Изобретение относится к вакуумной тех- н|1ке, а именно к конструкциям турбомоле- к лярных вакуумных насосов.

: Цель изобретения - повышение эконо- м|ичности путем снижения теплопритоков к охладительному корпусу.

На чертеже представлен насос, продоль- .|й разрез.

Турбомолекулярный вакуумный насос содержит охлаждаемый корпус 1, размещенные на его внутренней поверхности статор- ные диски 2, установленный по оси корпуса 1 вал 3 с роторными дисками 4 и охватывающие корпус 1 с образованием полостей 5 -и 6 внутренний 7 и наружный 8 кЬжуха, первый из которых снабжен вход- н|ым патрубком 9, причем полость 5 между к)рпусом 1 и внутренним кожухом 7 сооб- uhcHa с полостью входного патрубка 9.

Насос работает следующим образом.

I Газ из откачиваемого объема поступает н| полость входного патрубка 9, а затем, в к орпус 1. Посредством системы роторных и сгаторных дисков 4 и 2 газ переносится на сторону нагнетания насоса.

0

5

0

Поскольку полость 5 сообщена с полостью входного патрубка 9, в процессе работы насоса в ней поддерживается высокий вакуум, уменьшающий до минимума тепло- приток излучением со стороны кожуха 7 к корпусу 1, охлаждаемому хладагентом. Кроме того, увеличение теплового моста, роль которого играет внутренний кожух 7, также снижает теплоприток, что повыщает экономичность насоса.

Формула изобретения

Турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий охлаждаемый корпус, размещенные на его внутренней поверхности статор- ные диски, установленный по оси корпуса вал с роторными дисками и охватывающие корпус с образованием полостей внутренний и наружный кожуха, первый из которых снабжен входным патрубком, отличающийся тем, что, с целью повыщения экономичности путем снижения теплопритоков к корпусу, полость между ним и внутренним кожухом сообщена с полостью входного патрубка.

Изобретение позволяет повысить экономичность насоса путем снижения теплопри- токов к охладительному корпусу. На впутреннеи поверхности охлаждаемого корпуса 1 размещены статорные диски 2, а по оси корпуса установлен вал 3 с роторными дисками 4. Вну1ренний и наружный кожухи 7, 8, первый из которых снабжен входным патрубком 9, охватывают корпус с образованием полостей 5, 6. Полость 5 сообщена с полостью патрубка 9, что позволяет поддерживать в ней высокий вакуум, умепьп1аю- щий до минимума теплоприток излучением со стороны кожуха к корпусу, охлаждаемому хладагентом. Кроме того, увеличение теплового моста, роль которого играет кожух 7, также снижает теплоприток. 1 ил.