Турбомолекулярный вакуумный насос Советский патент 1986 года по МПК F04D19/04 

11 1

Н-юбретение отнчос.ится к ваку- ;-мной технике а именно к конструкцупгм тур- бомоле.ку-лярных вакуумных насосов, к является усовергаенствованием изобретения . iio авт., ев, Р 973938,

Цель изобретения - повышение эко - номичБости насоса путем снижение рас- хода криогенной жидкост :, озохалодгпощей корпус насоса о

На чертеже представлен насосj продольный разрез,

Турбомолекулярный вакуумный насос содержит о:-шалодае№1й корпус I с расположенными на его внутренней новерх- ност.и статорными дисками 2 и установленный на оси корпуса 1 вал- 3 с раз- иещен ымк на нем роторными дисками 4, а также обхватывающие корпус на- ружный 5 и внутренннй 6 кожухи, образующие полость 7, сообщенную с областью нагнетания насоса, причем входной патрубок 8 на участке между кор

пусом 1 и ннутре}Н1им кожухом 6 снаб- кен гофрировангш простаикой 9 из liK 3 коте шю провод но го матер -чала.

Насос работает следующим образом. Газ из откачиваемого объема через входной патрубок 8 постуг зет в полость корпуса ; и яосредствогч систе- - isft; статорных 2 и быстровраш.аюпщхся роторнмк; 4 дисков нереноси ся }5а сторону наг нетания насоса, Кокухи 5 и б обеснечивггют надежнувэ-те ъловую защиту охлаждаемого корпуса 1,, nr.i ieM наличие гофрированной проста.окк 9 иа ннзкоте}шонроводного мгггермала на участке входного патрубгса S - е;зду корпусом ) и внз тренняк кожухом б обеспечивает б(зльшое термяческое со- нротнвление и сниже ие тед7ЛО1Грито сов ; к корпусу Всл(;дствие зтого значитель- но снижшотся потери криогенной кид- кости и повышается эконо:чсь-;чноач ь насоса.