Турбомолекулярный вакуумный насос Советский патент 1982 года по МПК F04D19/04 

(54) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС

. Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к устройству турбомолекулярных вакуумных насосов. Известен турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий охлаждаемый корпус с расположенными на его внутренней поверхности статорными дисками к уста:- новленный по оси корпуса вал с размещен ными на нем роторными дисками Г1 . Недостатком известного насоса является невысокая экономичность, вследстви знйчительного расхода криогенной жидкости, охлаждающей корпус насоса. Цепью изобретения является повьпиени экономичности насоса. Указанная цель достигается тем, что насос дополнительно содержит охватываю щие корпус наружный и внутренний кожуха,- образующие полость, сообщенную с областью нагнетания насоса. На чертеже представлен насос, продол ный разрез. Турбомолекулярный вакуумный насос содержит охлаждаемый корпус 1 с расположенными на его внутренней поверхности статорными дисками 2 и установленной по оси корпуса 1 вал 3 с размещенными на нем роторными дисками 4, тфичем насос дополнительно содержит охватывающие корпус 1 наружный и внутренний кожуха 5 и 6, образующие полость 7, сообщенную с областью нагнетания насоса. Насос работает следующим образом. Газ из откачиваемого объема поступает в полость корпуса 1 и посредством системы- статорных и быстроврашаюшихся роторных дисков 2 и 4 переносится на сторону нагнетания насоса. Допсинительные кожухи 5 и 6 обеспечивают надежную тепловую заппггу и обуславливают невысокий расход криогенной жидкости, охлаждающей корпус насоса, что в цепом приводит к повьпыеншо экономичности насоса. Формула изобретения Турбомопекулярный вакуумный насос, содержащий охлаждаемый корпус с распо3 9739384

ложенными на его внутренней поверхностишй кожуха, образующие полость, сообщенстаторными дисками и установленный поную с областью нагнетания насоса. оси корпуса вал с размещенными на нем

роторными дисками, отличающий-Источники инфор 1ацки,

с я тем, что, с цепью повышения эконо- sпринятые во внимание при экспертизе

мичности, насос дополнительно содержит1. Патент США № 3536418,

охватывающие корпус наружный и внутрен-кл. 417-49, опублик. 1970.