Способ определения разориентировки среза кристалла Советский патент 1988 года по МПК G01B11/26 

(21)4044139/24-28

(22)19.02.86

(46) 07.10,88. Бюл. 37

(71)Ленинградский горный институт им. Г.В.Плеханова

(72)М.Д.Любалин, В«Н.Третьяков, А«Л.Кукуй и А.Н.Баранов

(53)531.743(088.8)

(56)Хейнман Р.Б. Растворение кристаллов.- Л.: Недра, 1979.

(54)СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ РАЗОРИЕНТИ- РОВКИ СРЕЗА КРИСТАЛЛА

(57)Изобретение относится к обработке кристаллов для изготовления приборов. Целью изобретения является по- вьппение точности определения раэори- ентиррвки за счет измерения углового рассогласования между теоретическим

и фактическим углами отклонения контролируемого среза кристалла от его спайной плоскости. Поворачивают источник света с экраном, расположенным перпендикулярно его оси, на заданный угол, равный теоретическому углу отклонения нормали к его спайности от кристаллографической оси, направляют излучение от источника света на часть препарированной поверхности кристалла и наблющают проекцию отраженного пучка иа экране, доворачивают источник света до совмещения центра проекции пучка с центром экрана. Величину до- ворота источника измеряют по углоиз- мерительному узлу. Измеренное значение угла характеризует в ичину раз- ориентировки среза контролируемого кристалла. 1 ил.

В

(Л

to

оо со

Изобретение относится к измери- тейьной технике и может быть исполь- зо)вано в электронной промьпгшенности для определения среза кристаллов от- носительно его кристаллографической

OCJH .

j Целью изобретения является повыше- нЦе точности определения разориенти- рбвки за счет измерения углового рассогласования между теоретическим и фактическим углами отклонения контролируемого среза кристалла от его сп|айностИс

; На чертеже представлена принципи- альная схема определения разориенти- рцвки среза кристалла.

На схеме показаны источник 1 света, формирующий коллимированный пучок, экран 2, расположенный по нормали к оси источника света, столик- 3, предназна енный для размещения в нем контролируемого кристалла, углоизме- РЙтельный узел 4, на котором установлен источник света с возможностью по- вброта вокруг оси узла, направляющая 5, параллельная опорной поверхности столика, с которой конструктивно связан углоизмерительньй узел.

На чертеже также показана плоско- параллельная пластинка 6, вьфезанная параллельно срезу контролируемого кристалла, препарированная поверхность 7 пластинки, на которой создают микрорельеф. На чертеже обозначена нормаль 8 к пластинке 6 и теоретический угол (ос) отклонения нсрмали к препарированной части поверхности от кристаллографической оси.

Срез кристалла или вырезанную па- раллельно ему плоскопараллельную пластинку 6 располагают параллельно опорной пл оскости столика 3. На пластинке препарируют часть ее поверхности 7, создавая микрорельеф, характерный для каждого класса кристаллов.

Измерения проводят следукщим образом.

Выставляют источник 1 света пер- п гндикулярно контролируемой плоскости среза кристалла, наблюдая за положением отраженного светового пучка на экране 2. При вращении столика изображение светового пучк-а н а экране не входит с центра экрана.

Затем источник 1 света и экран 2 поворачивают на заданный угол (ot), равный теоретическому значению угла.

Зная вещество, его симметрию и размещение осей симметрии в кристалле или символы кристаллографических направлений по справочникам или путем вычисления получают угол ci между этими направлениями. Если контролируемый срез не параллелен плоской сетке кристалла, то нормаль к нему не является кристаллографическим направлением с рациональным символом. Тогда для получения теоретического угла удобно пользоваться дополнительным углом или углом отклонения от рациональных кристаллографических направлений.

Перемещают углоизмерительный у%ел 4 с источником 1.света вдоль направляющей 5 до обеспечения засветки пуч- ком света препарированной поверхности 7 кристалла.

Отраженный пучок света наблюдают на экране 2. Световая проекция на экране соответствует симметрии препарированной части.

Если симметрия световой проекции искривлена и ее ось симметрии не совпадает с центром экрана, значит ось светового пучка и нормаль к препарированной части кристалла не совпадают, что, в свою.очередь, свидетель- ствует о разориентировке проверяемого среза.

I Величина разориентировки может быть найдена путем поворота источника света на угол uet по углоизмери- тельному узлу 4, когда центр световой проек1.;ии совместится с центром экрана.

Значение угла Д od определяет угловое несовпадение нормали к поверхности среза кристалла и кристаллографической осью, что по существу указывает значение разориентировки среза кристалла.

Если световая картина своим центром совместится с центром экрана, то контролируемьш срез не разориенти- рован.

Формула изобретения

Способ определения разориентировки среза кристалла, заключающийся в том, что предварительно размещают кристалл плоскостью среза на опорную поверхность, направляют коллимированный пучок света по нормали к плоскости среза кристалла, проектируют отражен- ньш от нее пучок света на экран, который располагают перпендикулярно

коллимированному пучку, и по изображению, получаемому на экране, судят о разориентировке среза кристалла, отличающий с я тем, что, с целью повьшения точности, перед посылкой на кристалл коллимированного пучка света создают микрорельеф на части его поверхности, совпадающей с плоскостью спайности, и определяют теоретический угол отклонения нормал к плоскости спайности от плоскости среза,.отклоняют ось коллимированно:i

/// /// /// /// /// а

АОС

777 777

го пучка от нормали к плоскости среза кристалла на угол, равный теоретическому, направляют отклоненный пучок света на участок кристалла с микрорельефом на нем, наблюдают проекцию отраженного пучка на экране, поворачивают ось коллимированного пучка света до совмещения центра проекции пучка с центром экрана и измеряют разность углов поворота оси пуч ка света, по которой определяют величину разориентировки среза кристалла.

/// //J