Мера толщины пленок Советский патент 1988 года по МПК G01B7/06 

(Л

Изобретение применяется для градуировки и поверки толщиномеров покрытий и относится к метрологии.Целью данного изобретения является повышение точности поверки толщиномеров. предназначенных для контроля трубчатых изделий. Мера толщины пленок имеет трехслойную цилиндрическую подложку 1 , на наружной и внутренней поверхностях которой имеются участки для настройки на О толщиномеров. На наружной и внутренней поверхностях подложки имеются два паза, донья которых удалены от поверхностей подложки на величину, равную требуемой толщине пленки или покрытия. Пленка заполняет эти пазы так, что у нее свободные цилиндрические поверхности.совпадают соответственно с наружной или внутренней цилиндрической поверхностью подложки. 2 ил. «

сразЛ

Изобретение относился к метропо- гии, а именно к средствам для гШверки и градуировки средств измерения толщин пленок и покрытий.

Целью изобретения является повы-. шение точности поверки толщиномеров трубчатых изделий путем исключения влияния кривизны поверхностей подложки и пленки при измерении толщин пленок на цилиндрических и трубчатых изделиях.

На фиг.1 изображена мера толщины :пленок, вид спереди; на фиг.2 - то же, вид сверху.

Мера толщины пленок состоит из подложки 1, выполненной из трех трубчатых элементов, сопряженных меяоду собой, на поверхностях которой имеются участки 2 для настройки на О толщиномеров покрытий. На верхней (наружной) поверхности подложки 1 вьтолНен паз 3, дно которого удалено от верхней цилиндрической поверхности подложки 1 на величину h,, равную требуемой толщине пленки 4. Пленка 4 заполняет паз так, что ее поверхность совпадает с наружной цилиндрической поверхностью подложки 1. Кроме Toroj на внутренней поверхности подложки вы- полкен второй паз 5, дно которого удалено от внутренней цилиндрической поверхности подложки 1 на величину , равную требуемой толщине пленки меры. Пленка 6 заполняет второй раз так, что ее поверхность совпадает с внутренней цилиндрической поверхностью подложки I, пазы 3 и 5 об- зазованы сквозными прорезями в наружном и внутреннем элементах под- ложки . Прочие линейные размеры меры голщины пленок определяются исходя из размеров и характеристик датчиков Поверяемых толщиномеров покрытий-, а также исходя из кривизны поверхнос- тей, контролируемых этими толщиномерами .

Меру толщины пленок изготовляют следующим образом.

Для подложки 1 выбирают три трубчатых элемента с разными диаметрами и толщинами стенок: h, равной требуемой толщире пленки на наружной поверхности подложки; h, равной требуемой толщине пленки на внутренней Поверхности подложки, и Н, равной ми- нимально допустимой толщине подложки 1ши больше ее. Обрабатьюают цилиндриQ

5

0 о j 0 5

0

ческие поверхности трубчатых элементов, подложки 1 в соответствии с требованиями допусков и соединяют элементы в одно целое с небольшим натягом. Далее на наружной и внутренней поверхностях подлокжи I выполняют пазы 3, 5. Для этого из собранной под- лозкки 1 вырезают куски материала шириной b и толщиной h и h. Так как подложка 1 собрана с небольшим натягом, то куски подложки 1 снимаются легко. Для исключения влияния материала основы на результаты поверки все три элемента желательно изготовлять из одного материала, т.е. из материала деталей, на которых намечается измерение толщин пленок и покрытий. После выполнения описанных вьше one«

раций аттестуют с высокой точностью глубину обоих пазов 3, 5 по направ- лению радиуса кривизны, например, с помощью оптических методов. Далее наносят в наружный паз 3 пленку 4 так, чтобы ее поверхность совпадала с наружной поверхностью подложки 1. Проверяют цилиндричность наружной поверхности меры, контролируя совпадение верхних поверхностей пленки 4 и подложки 1. После этого наносят пленку 6 во внутренний паз 5 подложки 1 так, чтобы ее поверхность совпадала с внутренней поверхностью подложки 1. Проверяют цилиндричность внутренней.поверхности меры. Несовпадение цилиндрических поверхностей допускается в пределах до 1% от толщины пленки и учитывается в аттестате меры толщины пленок. После этих операций мера готова к применению.

Проверку и градуировку толщиномеров покрытий с помощью предложенноТй меры осуществляют следующим образом.

Нулевую точку ппсалы или показания на табло толщиномера поверяют, устанавливая датчик поверяемого толщиномера на любой участок 2 наружной поверхности меры толщины пленок. Затем перемещают датчик на участок меры с пленкой 4. Показания толщиномера при нахождении датчика на этом участке сравнивают с аттестованной толщиной пленки.

При поверке толщиномеров для измерения толщин покрытий на внутренних цилиндрических поверхностях или

в трубах датчик поверяемого толщиномера устанавливают на любой участок 2 внутренней поверхности меры. Далее устанавливают датчик толщиномера нэ участок меры, где имеется пленка 6. В обоих случаях сравнивают показания толщиномера с аттестованным значением толщины пленки 4 или 6 меры и по наибольшей разнице судят о годности поверяемого толщиномера.

Использование изобретения позволяет проводить с высокой точностью поверку и градуировку толщиномеров, измеря-15 ющих толщины пленок и покрытий на криволинейных поверхностях.

Формула изобретения

Мера толщины пленок по авт.св. № 813129, отличающаяся тем, что, с целью повьшения точности поверки толщиномеров трубчатых изделий, подложка выполнена из трех сопряженных между собой трубчатых элементов, на внутренней поверхности подложки вьшолнен второй паз, аттестованный по глубине, во второй паз нанесена пленка так, что ее поверхность совпадает с внутренней поверхностью подложки, а пазы образованы сквозными прорезями в kapyжнoм и внутреннем элементах подложки.

ч

(риг.2