Мера толщины пленок Советский патент 1981 года по МПК G01B7/06 

Изобретение относится к метрологии, а именно к образцовым мерам для проверки и градуировки средств измерения толщин покрытий. Известны меры толщины пленок, содержащие подложку прямоугольной или круглой формы и пленку, нанесенную на эту подложку гальваническим, химическим, диффузионным или другим способом 1. Недостатком таких мер является высокая стоимость, связанная со сложностью нанесения пленки заданной толщины, трудоемкостью аттестации толщины пленки, а также неудобства в эксплуатации, связанные с отсутствием участка для установки толщиномера на нуль. Известна также мера толщины пленок, содержащая подложку с участком для -настройки толщиномеров на ноль и пленку, нанесенную на подложку С2 Эта мера лишена эксплуатационног недостатка, однако в изготовлении еще более сложна и дорога. Цель изобретения - упрощение тех иологни изготовления и снижение сто имости. Поставленная цель достигается те что на верхней поверхности подложки выполнен паз, аттестованный по глубине, пленка внесена в упомянутый паз, а верхняя поверхность пленки совпадает с верхней поверхност ью подложки. На чертеже изображена мера толщины пленок. Она содержит подложку 1, на верхней поверхности которой имеется участок 2 для настройки на ноль толщиномеров. На этой же поверхности подложки выполнены паз, дно 3 которого удалено от верхней поверхности иа величину h, равную требуемой толщине пленки. Пленка 4 заполняет паз так, что ее верхняя поверхность совпадает с верхней поверхностью подложки 1. Прочие размеры меры определяются исходя из размеров измерительных головок толщиномеров. При изготовлении мер верхнюю поверхность подложки 1 и дно 3 паза до водят до высокого класса шероховатости, что позволяет с высокой точностью аттестовать его глубину, например ин-, терференционным способом. После нанесения пленки 4 проверяют плоскостность верхней поверхности, что обеспечивает совпадение верхних поверхностей пленки 4 и подложки 1. Проверку и градуировку толщиномеров выполняют с помощью комплекта

мер с различной толщиной пленок.Толщиномер настраивают на нуль по поверхности подложек на участке 2,где пленочное покрытие отсутствует,а затем перемещают на участок с пленкой 4. Показания толщиномера сравнивают с аттестованной толщиной пленки.Комплект мер позволяет проверить характеристику толщиномера в различных точках.

Формула изобретения

Мера толщины пленок, содержащая подложку с участком для настройки толщиномеров на ноль и пленку, нанесенную на подложку, отличающаяся тем, что, с целью упрощения технологии изготовления и снижения стоимости, на верхней поверхности подложки выполнен паз, атте. стованный по глубине, пленка внесена в упомянутый паз, а верхняя поверхность пленки совпадает с верхней по верхностью подложки.

Источники информации,

. принятые во внимание при экспертизе 1 . Измерительная техника, 1973, № 2, с.30-31.

2. Информационный листок № 650-71, Ленинградский ЦНТИ, 1971 (прототип).

/