Мера толщины пленок Советский патент 1983 года по МПК G01B7/06 

Изобретение относится к метрологии, а именно к образцовым мерам для поверки,и градуировки средств измерения толщины покрытий.

По основному авт. св. № 813129 известна мера толщины пленок (покрытий) , содержащая подложку с участком для настройки толщиномеров на ноль и пленку, нанесенную на подложку, на верхней поверхности подложки выполнен паз, аттестованный по глубине, пленка внесена в упомянутый паз, ,.а верхняя поверхность пленки сов падает с верхней поверхностью подложки fl.

Однако известная мера не обеспечивает возможности поверки и градуировки толщиномеров пленок , покрытий) на деталях, выполненных из разных материалов, например для замера толщины покрытия никеля на стали, латуни на гшюминиевом.сплаве и т.д. Для поверки и градуировки толщиномеров необходимо иметь столько мер, сколько применяется разновидностей материалов для изготовления деталей (,изделий ) с нанесенными на них покры тиями, поэтому комплект мер становит ся громоздким и дорогостоящим.

Наиболее целесообразно иметь одну унифицированную меру для измерения толщины пленки .покрытия), нанесенной на различные материалы, которые могут быть использованы для из готов ления деталей.

Цель изобретения - унификация меры толщины пленок.

Поставленная цель достигается

10 тем, что мера толщины пленок, содержащая подложку с участком для настройки толщиномеров на ноль и пленку, нанесенную на подложку, на верхней поверхности подложки выполнен паз,

15 аттестованный по глубине, пленка внесена в упомянутый паз, а верх- няя поверхность пленки совпадает с верхней поверхностью подложки, снабжена основанием с пазом, а подложка

20 выполнена из элементов разных материалов, которые запрессованы в паз основания.

На фиг. 1 изображена мера толщины пленок, вид спереди; на фиг. 2 25то же, вид сверху.

Мера толщины пленок содержит подложку 1, на верхней поверхности которой имеются участки 2 для настройки на ноль толщиномеров (не показаны

30 и . пленку 3, нанесенную на подложку 1. На верхней поверхности подложки 1 выполнен паз, дно 4 которого удалено от верхней поверхности подложки 1 на неличину }i , равную требуемой . толщине пленки ( покрытия 3.. Пленка 3 заполняет паз так, что верхняя поверхность совпадает с верхней поверхностью подложки 1. Мера толщины пленок снабжена осно 1занием 5 с пазом 6, в который запрес сована подложка 1, выполненная из элементов ( не обозначены разных материалов. Прочие размеры меры определяются исходя из размеров измерительных головок толщиномеров, а также от разновидностей применяемых материалов для изготовления деталей (изделий/, подлежащих контролю толщиномером. При изготовлении мер элементы из разных материалов, составляющие подложку 1, запрессовывают с натягом в паз б основания 5, затем, верхнюю поверхность подложки 1 и дно 4 основного паза доводят до высокого класса шероховатости, что позволяет с высокой точностью аттестовать глубину основного паза, например, интерференционным способом. После нанесения пленки (покрытия 3 в основной паз проверяют плоскостность верхней поверхности подложки 1, что обеспечивает совпадение верхних поверхностей пленки 3 и подложки 1. Поверку и градуировку толщиномеро выполняют с помощью комплекта мер с различной толщиной пленок 3. Нулевую точку икалы толщиномера поверяют, устанавливая датчик толщиномера на участок 2 подложки 1, который соответствует материалу измеряемой детали, т.е. материгшу, из которого изготовлена деталь (изделие. Толщиномер настраивают на нуль по поверхности подложки 1 на участке 2, где пленочное покрытие отсутствует, а подложка 1 выполнена из элементов разных материалов, которые могут быть пр.именены для изготовления измеряемой детали (изделия. Затем датчик толщиномерс1 перемещают на участок с пленкой (покрытием 3. Показания толщиномера сравнивают с аттестованной толщиной пленки (покрытия. Далее проводят аналогичную поверку или градуировку толщиномера по другому элементу подложки. Комплект мер, состоящий из 2 или 3 мер, позволяет проверить характеристику толщиномера в различных точках шкалы. Унификация меры толщины пленок заключается в том, что при поверке и градуировке толщиномеров покрытий, измерякндих толщину одного вида покрытия на деталях, изготовленных из разных материсшов, используется одна мера, что сокращает время поверки толщиномеров, а также исключает случайные ошибки, возник.ающие при обмене мер. При этом повьпиается точность поверки, так как погрешность изготовления данной меры является одинаковой для всех элементов подложки. Формула изобретения Мера толщины пленок по авт. св. № 813129, отличающаяся тем, что, с целью унификации, она снабжена основанием с пазом, а подложка выполнена из элементов разных материалов, которые запреЪсованы в паз основания. Источники информации, принятые во внимание при эо спертизе 1. Авторское свидетельство СССР № 813129, кл. G 01 В 7/06, 1981.

,В .6