Мера толщины пленок Советский патент 1991 года по МПК G01B7/06 

Изобретение относится к метрологии, а именно к средствам для поверки и градуировки средств измерения толщин пленок и покрытий.

Целью изобретения является повышение точности при поверке вихрето- ковых толщиномеров с проходными преобразователями.

На чертеже схематично представлена предлагаемая мера толщины пленок, вид спереди.

Мера толщины пленок содержит подложку 1 в виде полого цилиндра, на наружной и внутренней поверхностях которого имеются участки 2 для настройки на ноль толщиномеров покрытий. На наружной поверхности подложки 1 выполнен паз, дно 3 которого удалено от наружной цилиндрической поверхности подложки 1 на величину п

равную требуемой толшппо пленки и.ч. покрытия 4 мери. Пленка или покрытие 4 заполняет паз так, «то ее (или с,/; свободная цшпи дри Ч ская понорхкост i совпадает с пару/ной цилиндрической поверхностью подложки 1. Кроме тоге, на внутренней поверхности ПОДЛО-АКЧ выполнен второй паз, однородный с основным, дно 5 которого удалено иг внутренней цилиндрической поверхности подложки 1 на величину h, равную требуемой толщине пленки или покрытия 6 меры. Пленка или покрытие 6 заполняет второй паз так, что ее (или его) свободная цилиндрическая поверхность совпадает с внутренней цилиндрической поверхностью подложки 1. Пазы выполнены в виде кольцевых

|с до Оо N0 СО

го

канавок. Прочие линейные размеры меры толщины ппенок определяются исходя из размеров и характеристик датчиков поверяемых толщиномеров покрытий, а также исходя из кривизны поверхностей контролируемых этими толщиномерами деталей.

Мору и гоюншпот еле ;уюггим обратом.

Выбирает полый цилиндр, обрабатывали его наружную и внутреннюю поверхности дг необходимого диаметра. На наружной и внутренней поверхности ИТР i on тяюг па ты в пиде кольцевых ка- чавок таким обратом, чтобы соблюдать с ь гоч1ин,1 нпдчожкп Н в пределах 5--Р г-м. Нарабатывают цилиндрические поверхности подложки 1 и донья 3 и 5 ипгп « спггРСТСТРЧН с требованиями ЧОЧУГКГЧ ни нмифр юс т и параметров

II1 О . Л . Ч I .

. НТПОЧРНШТУ операций глубина сбои 141 чов по направлению радиуса кричп-энч доньев 3 и 5 пазов4 аттестуемся с mconofi точностью, например с помицып оптических методов. Далее нлпогч в наружный пат пленку 4 так, ч 1 ее- гчобопная поверхность сов- 1гадала с наручной цилиндрической поверхностью подложки 1. Проверяют ци- липдрпчпость наружной поверхности мери, i.e. верхних поверхностей подложки и пленки 4, контролируя этим совпадение верхних поверхностей пленки - и .подложки 1 . После этого нанос г пленку (i во внутренний паз под ложки 1 так, чтобы ее свободная по- репхиос п. совпадала с внутренней ци- Н ндпической поверхностью подложки 1 Проверяют цилипдричность внутренней поверхности меры, контролируя совпадение поверхности пленки 6 и подложки 1. Несовпадение цилиндрических по верхностей допускается в пределах +5 мкм и учитывается в аттестате меры тол1цины пленок в качестве поправк

-

Ю

15 0

5

0

5

5

0

Поверку и градуировку толщиномеров покрытий с поморью данной меры осуществляют следующим образом. Нулевую точку шкалы поверяют, устанавливая датчик поверяемого толщиномера на любой участок 2 наружной поверхности меры. Затем перемещают датчик на участок меры с пленкой 4. Показания толщиномера при нахождении датчика на этом участке сравнивают с аттестованной толщиной пленки Ь1.

При поверке толщиномеров для измерения толщин покрытий на внутренних цилиндрических поверхностях, датчик поверяемого толщиномера устанавливают на любой участок 2 внутренне поверхности меры. Далее устанавливают дапшк толщиномера на участок меры, где имеется пленка 6. Сравнивают покат;чин толщиномера с аттестованным -значением тол- шины 2 пленки меры и по разнице судят о годности поверяемо с толщиномера.

Выполнение цилиндрического паза на наружной и внутренней поверхности подложки 1 в виде кольцевых канавок позволяет точнее аттестовать его глубину, точнее обеспечить совпадение свободной поверхности пленки с соответствующей повер ностью меры и, тем самым, повысить точность аттестации толщины пленки на подложке. Формула изобретения

Мера толщины пленок по авт.св. № 813129, о т л и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью повышения точности при поверке вихре токовых толщиномеров с проходными преобразователями, подложка выполнена в виде полого цилиндра, на внутренней поверхности которого выполнен второй паз,.аттестованный по глубине, во второй паз нанесена пленка так, что ее поверхность совпадает с внутренней поверхностью полого цилиндра, а пазы выполнены в виде кольцевых канавок.

2 J

Изобретение относится к петрологии и применяется для градуировки и поверки толщиномеров покрытий. Цель изобретения - повышение точности при поверке вихре i окот ix мшщипо- мероп с проходными преобразователями. Мера толщины пленок имеет подложку и виде полого цилин/v i, нл наружной поверхности которой имеются участки для настройки нл ноль толщиномеров. На наружной и внутренней поверхносiих подложки имеются дпа пача п пиле кольцевых кананоь, донья которых удплеп от поверхностей подложки на величи , , равную требуемо толщине ш.гнкч. Пленка заполняет эти па-р ia; , чго ее свободные шпиндр; егкмс почерхмп- сти совпадают coo j ьп , i i -чп п г пару- - нон или внутренней пч ЧЧПРП PCKOT I :ч -- верхностью подло-ки. 1 HI. (/) с:

У л t