Мера толщины пленок Советский патент 1983 года по МПК G01B7/06 

Изобретение относится к метрологии, а именно к образцовым мерам для поверки и .градуировки средств измёрег .ния толщины покрытий,

По основному авт. св. 813129 известна мера толщины плв«ок, содержащая подложку с участком для настроит ки толщиномеров на ноль и пленку, нанесенную на подложку, на верхней поверхности подложки выполнен паз,, аттестованный по глубине, пленка вне сена в упомянутый паз, а верхняя поверхность пленки- совпадает с верхнейповерхностью подложки .

Недостатком известной меры является то, /что она не позволяет проводить поверку и градуировку толщиномеров для замера двухслойных покрытий, напримерj толщины олова с подслоем меди на стали и аналогичных им, т.е. мера толщины пленок имеет узкую область применения, что ограничивает технологические возможности ее использования.

Целью изобретения является расширение технологических возможностей меры толщины пленок.

Поставленная цель достигается тем, что в мере толщины пленок, содержащей подложку с участком для настройки толщиномеров, на ноль и пленку, нанесенную на подложку, на верхней. поверхности подложки выполнен паз, аттестованный по глубине, пленка внесена в уттомянутый паз, а верхняя поверхность пленки совпадает с верхней поверхностью подложки, на подложке выполнен второй паз, аттестованный по глубине, пересекающийся с основным пазом и имеющий глубину, большую последнего, во второй паз нанесен подслой пленки так, что верхняя поверхность его совпадает с поверхностью дна основного паза.

На фиг .1 изображена мера толпиныпленок,, вид спереди в сечении; на,фиг. 2 - то же, вид сверху.

Мера толщины пленок содержит подложку 1, на верхней поверхности которой имеются участки 2 для настройки на ноль толщиномеров, как для однослойных, так и для двухслойных покрытий, и пленку 3. На этой же поверхности подложки 1 выполнен основной паз, дно 4 которого удалено от верхней поверхности подложки 1 на величину h, равную требуемой толщине пленки 3. Пленка 3 заполняет основной паз так, что ее верхняя поверхность совпадает с верхней повёрхностью подложки 1. Кроме того, на поверхности подложки 1 выполнен второй паз, пересекающийся с основным, при этом дно 5 второго паза удалено от верхней поверхности подложки 1 -на величину h + h, равную требуемой суммарной толщине пленки 3 и подслоя б, который заполняет второй паз так , что его верхняя поверхность совпада ет с поверхностью дна 4 основного паза.

Прочие размеры меры определяются исходя из размеров измерительньох головок толщиномеров.

При изготовлении мер верхнюю поверхность подложки 1 донья 4 и 5 пересекающихся пазов доводят до высрко го класса шероховатости, что позволяет с высокой точностью аттестовать их глубину., . например, интерференционным способом.

. После нанесения подслоя б 9О второй паз, проверяют плоскостность поверхности дна 4 основного паза и верхней поверхности подслоя б, .доби-. ваясь их совпадения. Затем наносят , в основной паз пленку (покрытие) 3 и также проверяют плоскостность верхней поверхности подложки 1, чтобы обеспечить совпадение верхних поверхностей пленки 3 и подложки 1.. f

Поверку и градуировку толщиномеров двухслойных покрытий выполняют с помощью комплекта мер с различной толщиной подслоя 6 и пленки 3,

Нулевую точку шкалы толщиномера Поверяют, устанавливая датчик поверяемого толщиномера на любой участок 2 меры толщины пленок, затем перемещают датчик на участок с двухслойным

покрытием, состоящим из пленки 3 и подслоя 6. Показания толщиномера сравнив.ают с аттестованной толщиной покрытия.

Устанавливая датчик толщиномера

на участок меры, где имеется покрытие, состоящее из пленки 3 без подслоя б, проводят поверку (градуировку) толщиномера для однослойного покрытия.

0 Комплектомер позволяет поверить характеристику толщиномера в различных точках.

Преимуществом предлагаемой меры толщины пленок является расширение

5 технологических возможностей, так как она прзволяет проводить поверку и градуировку толщиномеров как для однослойных, так и для двухслойных покрытий.

Формула .изобретения.

Мера толщины пленок по авт. св. № 813129,. о т л ичающаяся тем, что, с целью расширения технологических возможностей, на подложке выполнен второй паз, аттестованный по глубине, пересекающийся с основным пазом и имеющий глубину,. большую последнего, во второй паз нанесен подслой пленки так, что верхняя поверхность его совпадает с поверхностью дна основного паза.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР 813129, кл. G 01 В 7/06, 1981 (прототип).

г г //

/

.2