Держатель монокристаллов для рентгеновского дифрактометра Советский патент 1988 года по МПК G01N23/20 

41 СО О)

о

со

ел

Изобретение относится к рентгено- структурному анализу, в частности к рентгенодифрактометрии монокристаллических слитков полупроводнико- вых материалов, и может быть использовано при определении кристаллографической ориентировки этих слитков.

Целью изобретения явпяется упро

дает с осью рентгеногониометра. Одновременно слиток монокристалла 16 давит на колеса 15 и посредством связей колесо 15 - ось II - рычаг 10, 13 заставляет рычаги 10 и 13 повернуться вокруг в ала 2. В то же время, при повороте рычагов 10 и 13 вокруг |вала 2, рычаги 12 и 14 поворачивают

Изобретение относится к рентгено- дифрактометрии монокристаллических слитков полупроводниковых материалов. в частности к ориентировке слитков различных диаметров на дифрактометре. Цель изобретения состоит в упрощении процесса установки слитков монокристаллов различных диаметров в держатель. Держатель содержит стационарно установленные относительно оси рентгеногониометра 4ч нкционные роли- ки, образующая которых совпадает с осью рентгеногониометра. На эти ро- - лики опирается своей образующей ци- линдрический слиток. Кроме того, имеется система самоустанавливающихся поджимных роликов, поддерживающая и,с следуемый слиток на стационарно размещенных роликах. 3 ил.

щение процесса установки слитков раз- |Q ся вокруг осей. 9 и опускаются вдоль

оси 3 посредством связей рычаги 12 и 14 - ось 9 - упор 5 - ось 3. В то же время пружина 6, которая подпр1окини- вает упор 5, препятствует движению 5 . рычагов 1 2 и 14 вниз, что, в свою очередь препятствует повороту рычагов 12 и 1 вокруг осей 9, а это, в свою очередь

ньк диаметров.

На фиг.1 изображен держатель, общий вид, вид сбоку; на фиг.2 - вид А на фиг.1 (держатель с установленным на нем слитком), на .3 - то же, (держатель с установленным на нем слитком большего диаметра).

Держатель монокристаллов для рентгеновского дифрактометра состоит из корпуса 1 с установленным на нем в подшипниках валом 2, На корпусе установлены также две оси 3, причем оси 3 перпендикулярны валу 2. На валу 2 установлены фрикционные ролиоси 3 посредством связей рычаги 12 и 14 - ось 9 - упор 5 - ось 3. В то же время пружина 6, которая подпр1окини- вает упор 5, препятствует движению 5 . рычагов 1 2 и 14 вниз, что, в свою очередь, препятствует повороту рычагов 12 и 14 вокруг осей 9, а это, в свою очередь.

препятствует повороту рычагов 10 и 13 вокруг вала 2.

20

Таким образом получается, что посредством связей пружина 6 - упор 5 (вдоль оси 3) - оси 9 - рычаги 12 и 14 - рычаги 10 и 13 (вокруг вала 2) - оси П - колеса 15 слиток ноноки 4. На двух осях 3 расположены упо- 25. кристалла

ры 5, подпрулсиненные прзпкиной 6, Гай- состоянии

ка 7 установлена на упоре 5. Гайка дает с образующей фрикционных роли8 установлена на оси 3. На. упоре 5ков 4, которая, в свою очередь, сов16 удерживается в таком 5 что его образующая совпа-

35

установлены две оси 9 Рычаг 10 посажен одним концом на вал 2, а другим - на 30 ось По Рычаг 12 посажен одним концом на ось 11, а другим концом - на ось 9. Рычаг 13 посажен одним концом на вал 2, а другим концом - на ось П. Рычаг 14 посажен одним концом на ось 11, а другим концом - на ось 9. На осях 11 установлены по одному колесу 15. Слиток монокристалла обозначен позицией 16.

Гайка 8, установленная на оси 3, служит как ограничитель верхнего положения упора 5. Гайка 7, установленная на упоре 5, служит для регулирования предварительной силы сжатия пружины 6.

Держатель слитков монокристаллов для рентгеновского дифрактометра работает следующим образомс

Держатель устанавливалэт на дифрак- тометре таким образом, чтобы ось

40

45

падает с осью рентгеногониометра.

Если необходимо установить на дер жатель слиток монокристалла большего диаметра (фиг.3), то слиток просто кпадут на держатель, а связь пружина 6 - упор 5 (вдоль оси 3) - оси 9 рычаги 12 и 14 - оси 11 - рычаги 10 и 13 (вокруг вала 2) - колеса 15 удерживает елиток монокристалла 16 в таком положении, что его образующ совпадает с образующей фрикционных роликов 4, которая, в свою очередь , совпадает с осью рентгеногониометра

Предварительнай сила сжатия пружи ны 6 регулируется один раз с помощь гайки 7 во время юстировки дифракто метра.

После установки слитка монокрис талла 16 на держатель с поьющью при вода через фрикционные ролики 4 (или вручную, непосредственно за слиток монокристалла) вращают слиток монорентгеногониометра совпала с образую- кристалла вокруг своей оси, находят

щей фрикционных роликов 4, Это.достигается при юстировке дифрактометра с помощью контрольного слитка монокристалла. Затем на держатель помещают слиток монокристалла 16, (фиг.2 и 3), Слиток монокристалла 16 касается своей образующей фрикционных роликов 4, образукицая которых совпа|Q ся вокруг осей. 9 и опускаются вдоль

оси 3 посредством связей рычаги 12 и 14 - ось 9 - упор 5 - ось 3. В то же время пружина 6, которая подпр1окини- вает упор 5, препятствует движению 5 . рычагов 1 2 и 14 вниз, что, в свою очередь, препятствует повороту рычагов 12 и 14 вокруг осей 9, а это, в свою очередь.

препятствует повороту рычагов 10 и 13 вокруг вала 2.

16 удерживается в таком 5 что его образующая совпа-

5

0

0

5

падает с осью рентгеногониометра.

Если необходимо установить на держатель слиток монокристалла большего диаметра (фиг.3), то слиток просто кпадут на держатель, а связь пружина 6 - упор 5 (вдоль оси 3) - оси 9-- рычаги 12 и 14 - оси 11 - рычаги 10 и 13 (вокруг вала 2) - колеса 15 удерживает елиток монокристалла 16 в таком положении, что его образующая совпадает с образующей фрикционных роликов 4, которая, в свою очередь , совпадает с осью рентгеногониометра.

Предварительнай сила сжатия пружины 6 регулируется один раз с помощью гайки 7 во время юстировки дифрактометра.

После установки слитка монокрис талла 16 на держатель с поьющью привода через фрикционные ролики 4 (или вручную, непосредственно за слиток монокристалла) вращают слиток моно

максимум интенсивности отраженных рентгеновских лучей от искомой базовой плоскости. При вращении слитка монокристалла 16 вокруг своей оси он удерживается в таком состоянии, что его образукнцая совпадает с обра- зуицей фрикционных роликов 4, которая в свою очередь, совпадает с осью

рентгеногониометра. После достижения максимальной интенсивности отражения рентгеновских лучей вращение прекращают. Затем проводят риску искомой плоскости на торце слитка. . Устройство применено на дифракто- метре с горизонтальным расположением оси гониометра, предназначенного для определения угла разориентации кристаллографических плоскостей относительно торца слитка и определения направления основных или дополнительных базовых плоскостей.

Формулаизобре гения

Держатель монокристаллов для рентгеновского дифрактометра, включающий

15

Ось рентгеногониометра

зажимное устройство, выполненное в виде системы роликов и механизм вращения, связанный с приводом, отличающийся тем, что, с целью упрощения установки слитков монокристаллов различных диаметров, система роликов содержит установленные на валу фрикционные ролики, являющиеся одновременно приводными роликами, причем образующая этих роликов совпадает с осью рентгеногониометра, а также центрирующие поджимные ролики, установленные на рычагах, соединенных с валом фрикционных роликов, с.возможностью вращения вокруг него, а

также с возможностью собственной еси.

вращения вокруг

9иг.1

IB

Ось Р нтгено2ониометра

ВидА

15 11

/5

Ось рентвенсгонионетра

ВидА

9дг.з