Способ измерения плоских концевых мер и диаметров шариков методом интерференции Советский патент 1949 года по МПК G01B11/08 

Предметом изобретения является способ измерения плоских концевых мер и диаметров шариков, основанный на явлении интерференции. Известны того же назначения способы измерения плоских концевых мер и диаметров шариков методом интерференции, основанные на двукратном отражении от противоположных поверхйостей измеряемого объекта одного из интерферирующих пучков лучей.

В предлагаемом способе измерения плоских концевых мер и диаметров шариков .отраженный пучок лучей идет обратно по прежнему направлению. Благодаря этому один из интерферируюш,их лучей дважды отражается от .противоположных поверх1настей концевой меры, падая по нормалям к этим поверхностям. Это позволяет применить данный метод для измерения диаметров шариков.

Ыа фиг. I и 2 «зображена оптическая схема интерферометра, используемого для осуществления способа, в двух вариантах исполнения.

Q - лампочка накаливания, L - конденсорная линза, М - коллиматор, Ki, Кг, K.Z V. Ki - кубики с полупрозрачной диагональю, NI и

NZ - плоские зеркала с наружным алюминированием, R - измеряемая плитка Йога-неона, Р - стеклянная плоскопараллельная /пластинка, клиновый компенсатор, Т-зрительная трубка.

Кубик /Ci разделяет падающий на него параллельный пучок лучей на два) пучка. Пучок / помеле отражений от диагоналей четырех кубиков падает в зрительную трубку Т.

Пучок // проходит через кубик /Сь отражается от первой по верхности калибра R, после чего последовательно отражается от диагонали кубика /Сь от зеркал NI и N, от диагонали кубика Kz и на вторую поверхность калибра R, отразившись от которой, проходит через кубик /Са и падает в зрительную трубку. Пучки / и // интерферируют между собой. Кубики /Сз и К служат для компенсации толщины стекла, проходимого пучком // в кубиках К и Ki, а также и для соответствующего ослабления пучка /.

В окуляр зрительной трубки видна система прямых интерференционных полос, ширину и наклон которых можно регулировать, например,, поворотами кубика K-t831