Вакуумный сорбционный насос Советский патент 1989 года по МПК F04B37/02 

Изобретение относится к области вакуумной техники, а именно к конструкциям сорбционных вакуумных насосов -с распыляемыми геттерами.

Цель изобретения - уменьшение загрязнения откачиваемого объема парами геттера.

На чертеже представлена схема насоса.

Вакуумный сорбционный насос содежит корпус 1 с продольным пазом 2, размещенный в пазу 2 испаритель 3 геттера и установленный по оси корпуса 1 вал 4. Корпус 1 выполнен ох- лаждаемым и снабжен дополнительными пазами 2 с размещенными в них испарителями 3 геттера, причем каждый паз 2 выполнен цилиндрическим и испаритель 3 размещен по его оси, а вал 4 снабжен установленной на нем с возможностью радиального перемещения плоской заслонкой 5, перпендикулярной радиусу корпуса 1.

Насос работает следукщим образом

Заслонка 5 перемещается в положение, при котором она полностью закрывает один из пазов 2, Испаритель геттера в этом пазу 2 включается, и на поверхность паза 2 наносится слой сорбирующего покрытия. После завершения цикла напыления покрытия заслонка 5 перемещается путем поворота вала 4 в положение, где она перекрывает другой паз 2. Сорбирующая поверхность паза 2, в котором

было произведено напыление, включается в работу, поглощая газы, посту- .пающие в полость корпуса 1. Таким образом, попеременно происходит возобновление сорбирующего покрытия на внутренней поверхности охлаждаемого корпуса 1, причем благодаря циклическому процессу напыления в усло- ВИЯХ отделения напьшяемой зоны от полости корпуса 1 исключается попадание паров геттера в откачиваемый объем. Кроме того, конфигурация поверхности пазов 2 обеспечивает равномерность напыления геттера и тем самым развитую рабочую поверхность.

Ф о

Г

рмула изобретения

Вакуумный сорбционный насос, содержащий корпус с продольным пазом, размещенньй в пазу испаритель геттера и установленный по оси корпуса вал, отличающийся тем, что, с целью уменьшения загрязнения откачиваемьк объемов, корпус выполнен охлаждаамым и снабжен дополнительными пазами с размещенными в них испарителями геттера, причем каждый паз выполнен цилиндрическим и испаритель размещен по его оси, и вал снабжен установленной на нем с возможностью радиального перемещения плоской заслонкой, перпендикулярной радиусу корпуса.

Изобретение позволяет уменьшить загрязнение откачиваемого объема парами геттера. В продольном пазу 2 корпуса 1 размещен испаритель 3 геттера. По оси корпуса 1 установлен вал 4. Корпус 1 выполнен охлаждае- ьым и снабжен дополнительными пазами 2 с размещенными в них испарителями 3 геттера. Пазы 2 выполнены цилиндрическими. Испарители 3 размещен по их оси. Вал 4 снабжен установленной на нем с возможностью радиального перемещения плоской заслонкой 5, перпендикулярной радиусу корпуса 1. Конфигурация поверхности пазов 2 обеспечивает равномерность напыления геттера и тем самым развитую рабочую поверхность. 1 ил. (Л с