Геттерный насос Советский патент 1979 года по МПК H01J9/38 F04B37/02 

(54) ГЕТТЕРНЫЙ НАСОС

. , I Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к геттерным нас.осам. Известны геттерные насосы, содержа щие корпус и размещенный в них испаритель. На испаритель подается напряжение, обеспечивающее нагрев и распыление геттера. Геттер образует на охлаждаемых стенках корпуса пленку, сорбирующую молекулы газа 1. При работе насоса в откачиваемый объем могут проникать молекулы испаря емого геттера, что в ряде случаев недопустимо. Известны также геттерные насосы, содержащие корпус и размещенные в нем испаритель и защитный экран 2. . Этот насос является наиболее близким к предложенному по технической сущност Однако наличие в нем неподвижного защитного экрана существенно ограничивает быстроту откачки насоса и не обеспечивает надежной защиты откачнваемого объема от паров геттера, что снижает предельное разрежение насоса. Целью изобретения является повышение предельного разрежения и быстроты откачки насоса. Это достигается тем, что в предложенном насосе экран выполнен в виде взаимоперекрывающгосся кольца, жестко закрепленного на стенке корпуса, и двух полудисков, устанЬвленных с возможностью перемещения в направлении перпендикулярном к оси корпуса. На чертеже схематически изображен предложенный насос. Геттерный насос содержит корпус 1 и размещенный в нем испаритель 2 и защитный экран. Экран выполнен в виде взаимоперекрывающихся кольца 3, жестко закрепленного на стенке корпуса 1, и двух полудисков 4, установленных с возможностью пёрёмейхения в направлении перпендикулярном к оси корпуса 1. Насос работает, следующим образом.