Способ ультразвукового контроля металлических пленок,нанесенных на диэлектрическую подложку Советский патент 1989 года по МПК G01N29/04 

3 14

связан также с вторыми входами самописца 13 и осциллографа 14, и геиера тор 16. На чертеже также обозначены диэлектрическая подложка 17 с нанесенной на нее металлической пленкой 18, помещенные в поле постоянного магнита 1 .Пьезоэлектрический преобразователь 2 прикреплен к подложке 17 и расположен на нижнем столике 3, выход пьезоэлектрического преобразователя 2 соединен с входом усилителя М. Контактные ролики 6 и 7 через штокн 8 и 9 соединены с верхним столиком 10. Выход генератор а 16 свя- эан с контактным роликом 6, контактный ролик 7 и нижний столик 3 заземлены. Верхний столик Ю выполнен из изолирующего материала.

Акустические колебания а подложке 17 возбуждаются силами Лоренца, которые возникают при прохождении переменного электрического тока,.генерируемого генератором 16, по подложке 1 7 в области пленки 18, находящейся под полюсом 5 постоянного магнита I. Синхронизатор 15 запускает генератор 16. Импульсы тока с генератора 16 через контактный ролик 6 подаются на контролируемый участок пленки. Интервал следования импульсов 4t выбирается соответственно периоду собственных поперечных колебаний подложки. В момент прохождения импульса тока по пленке в области пленки, находящейся под полюсом 5 постоянного магнита 1, на пленку 8 действуют ка

Изобре-цение относится к нераз- рушакадему контролю изделий и может быть использовано для ультразвукового контроля изделий в электронной промьштенности, paдиoпpo Ц)ПISleннocти и машиностроении. Цель изобретения -. повышение чувствительности контроля для подложек малой толщины и обеспечение возможности определения площади отслоенного участка. По металлической пленке пропускают либо импульсы тока, .частота следования которых I Изобретение относится к неразрушающему контролю качества изделий и может быть использовано Для ультразвукового контроля изделий в электронной промьшшеиноети, радиопромышленности и машиностроении. Цель изобретения - повышение чувствительности контроля для подложек малой толщины и обеспечение возможности определения площади отслоенного участка. На чертеже изображена схема уст- ройства для реализации способа ультразвукового контроля. совпадает с собственной частотой продольных или поперечных колебаний подложки, либо гармонический ток с час- ,тотой, совпадающей с собственной частотой продольных или поперечных колебаний подложки, создают локальное магнитное поле последовательно в разных зонах изделия и фиксируют упругие колебания подложки, по параметрам которых судя,т о качестве соединения. При яв- ложении магнитного поля перпендику лярно контролируемой пленке фиксируют поперечные колебания подложки, при наложении магнитного поля параллельно пленке - продольные колебания подложки, при наложении поля под острым углом к пленке - продольные или поперечные колебания подложки. Для определения по расчетной формуле площади отслоенного участка измеряют амплитуды колебаний подложки для отслоенного и неотслоенного участков. 4 3.п. ф-лы, I ил. Устройство содержит постоянный магнит 1, пьезоэлектрический преобразователь 2, нижний столик 3, прикрепленный к нижнему полюсу 4 магнита 1, расположенные по обе стороны верхнего полюса 5 магнита. 1 контактные ро- .лики 6 и 7, штоки 8 и 9 с прижимными пружинами, верхний столик 10, последовательно соединенные усилитель 11 и. перестраиваемый полосовой фильтр 12, подключенные к выходу перестраиваемого полосового фильтра 12 двухг координатный самописец 13 и осциллограф 14i и последовательно соединенные синхронизатор 15, выход которого i (Л 4 Од QD 4 4 4

Способ контроля заключается в еле-20 сательные силы Лоренца, которые в

дующем.

По металлической пленке, нанесенной на диэлектрическую подложку, пропускают либо импульсы тока, частота

следования которых совпадает с собст-25 з подложке 17 поперечные колебания

венной частотой продольных или поперечных колебаний подложки, либо гармонический ток с частотой колебаний, совпадакядей с собственной частотой продольных либо поперечных колебаний подложки, создают локальное магкит - ное поле последовательно в разных зонах изделия и фиксируют упругие колебания подложки, возникакянсие при взаимодействии постоянного магнитно- го поля с переменным электрическим полем, по параметрам которых судят о качестве соединения. При наложении магнитного поля перпендикулярно контролируемой пленке фиксируют попереч- вые колебания подложки. При наложении магнитного поля параллельно контролируемой пленке фиксируют продольные колебания подложки. При наложении поля под острым углом к пленке фиксируют продольные или поперечные колебания.

Для определения площади р отслоённого участка, в случае если его площадь меньше площади d пятна магнитного поля, измеряют амплитуды Aj и А колебаний для неотслоенного и отслоенного участков соответственно и определяют по формуле

..,

Устройство, реализующее способ контроля, работает следующим образом.

случае отсутствия отслоя прикладываются к поверхности подложки 17 и приводят к раскачке подложки 17 на ее собственной частоте. Возбужденные

0

5

О

5

0

5

воспринимаются пьезоэлектрическим преобразователем 2, электрический сигнал с которого поступает на вход усилителя 11 и после усиления - на вход перестраиваемого полосового фильтра 12, предназначенного для измерения частоты возбулздения акустических колебаний. Сигнал с выхода перестраиваемого полосового фильтра h2 поступает на вход двухкоординат- ного самописца 13, который управляет сигналами, пропорциональными координате местоположения пятна магнитного поля на контролируемой подложке. Осциллограф 14 позволяет измерить амплитуду электрических сигналов, пропорциональную амплитуде акустических колебаний в подложке 17, а самописец 13 - записывать распределения амплитуд акустических колебаний в подложке 17, по которым судят о наличии и величине отслоенного участка.

Формула изобретения

51469444

параметрам которых определяют качество-соединения металлической пленки с диэлектрической подложкой, отличающийся тем, что, с целью повьшения чувствительности контроля для подложек малой толщины, через контролируемую пленку пропускают или переменный электрический ток с частогде tf. - площадь пятна магнитного поля.

качестве соединения судят по параметрам поперечных колебаний подложки.

той Продол ных или поперечных колебаний подложки, или импульсы электрического тока, частота следования ко- Т01Я4Х совпадает с собственной частотой продольных или поперечных колебаний подложки.

магнитное поле налагают таким образом, что его силовые линии параллельны контролируемой пленке, а о качестве соединения судят по параметрам продольных колебаний подложки.

чающийся тем, что локальное

магнитное поле налагают таким образом, что его силовые линии параллельны контролируемой пленке, а о качестве соединения судят по параметрам продольных колебаний подложки.

5. Способ по ПП.1 и 2, отличающийся тем, что локальное магнитное поле налагают таким образом, что его силовые линии направлены под углом d к контролируемой пленке, где О Г « 90°, а о качестве соединения судят по параметрам продольных или поперечьшх колебаний подложки.