Способ изготовления многоуровневой разводки МДП ИС Советский патент 2008 года по МПК H01L21/28 

Способ изготовления многоуровневой разводки МДП ИС, включающий последовательное нанесение слоев нитрида кремния и нелегированного поликристаллического кремния на окисленную кремниевую пластину со сформированной активной структурой, легирование слоя поликристаллического кремния примесью, формирование на нем маски, соответствующей рисунку нижнего уровня разводки, стравливание участков слоя нитрида кремния, незащищенного маской, удаление маски, формирование межслойного диэлектрика и верхнего уровня разводки, отличающийся тем, что, с целью повышения качества разводки путем уменьшения количества закороток между элементами разводки, маску формируют после нанесения слоя нелегированного поликристаллического кремния, из последовательно нанесенных пленок двуокиси кремния и нитрида кремния с соотношением толщин от 1/14 до 1/7, после чего создают локальные оксидные области прокислением незащищенного маской слоя нелегированного поликристаллического кремния, легирование поликристаллического кремния проводят после удаления маски, после чего вытравливают локальные оксидные области, стравливание участков слоя нитрида кремния проводят перед формированием межслойного диэлектрика.