Устройство для двухсторонней очистки плоских изделий Советский патент 1989 года по МПК B08B3/02 

Изобретение относится к технике очистки изделий и может быть использовано в полупроводниковом производстве для двусторонней очистки пластин.

Цель изобретения - повыщение качества очистки.

На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство, вид. сверху; на фиг. 2 - то же, вид спереди; на фиг. 3 - зона обработки (второй моечный диск не показан); на фиг. 4 - направляющие со сквозными каналами для отвода отработанной жидкости; на фиг. 5 - положение очищаемых изделий в направляющих.

Устройство для двухсторонней очистки плоских изделий содержит опору 1, на которой закреплены направляющие 2 и 3, в которых выполнены продольные пазы 4 для размещения плоских изделий 5. В верхнем и нижнем основаниям направляющих выполнены сквозные каналы. В верхнем основании каналы 6 имеют дугообразную форму в направлении от центра моечного узла и в сторону, противоположную направлению движения очищаемых

изделий. В нижнем основании каналы 7 выполнены вертикально направленными. В отверстиях 8 установлены моечные диски 9, получающие вращение от электродвигателя 10, через полый вал 11 которого подается моющий раствор в кольцевой паз 12. Для перемещения изделий через зону обработки служит захват 13, выполненный в виде гребенки с пазами по форме изделий.

Устройство работает следующим образом.

Изделие 5 устанавливают на первую позицию перед обработкой в направляющие 2 и 3, включают электродвигатель грейферного механизма (не показан). Захват 13 опускается вниз, фиксируя пазом изделие 5. Электродвигатель вертикального перемещения отключается и включается электродвигателем горизонтального перемещения. Включается электродвигатель 10 первой пары моечных дисков 9 и система подачи моющего раствора через полый вал 1 и кольцевой паз 12. При прохождении изделий 5 между моечными дисками произ4

;о

О5 00 4

N5

водится отмывка их с обеих сторон за счет кавитации моющей жидкости при истечении ее из кольцевой щели под действием давления и центробежных сил. При этом происходит и отмывка зон контактирования изделий и направляющих, поскольку жидкость под действием давления и центробежных сил поступает в каналы 6 и 7. Поскольку эти каналы связаны между собой пазами 4, то отработанный раствор выводится через каналы 7. При перемещении изделий захватом не происходит загрязнение их моющим раствором, так как каналы 6 направлены в обратную по отнощению к направлению перемещения захватов сторону и имеют дугообразную форму. После отмывки изделия захват 13 перемещается вверх, а затем - горизонтально влево, захватывая следующее изделие. Цикл повторяется.

Формула изобретения 1. Устройство для двухсторонней очистки плоских изделий, содержащее по мень0

щей мере одну пару соосно установленных с зазором один по отнощению к другому моечных дисков с осевыми отверстиями для подачи моющего раствора, направляющие для прохода изделий в зазоре между дисками и захват для перемещения изделий, отличающееся тем, что, с целью повыщения качества очистки, в верхнем и нижнем основаниях направляющих в зоне размещения моечных дисков выполнены сквозные каналы, служащие для отвода отработанной моющей жидкости, каналы верхней направляющей имеют дугообразную форму, причем входное отверстие дугообразного канала обращено к 5 центру моечных дисков, а выходное смещено в сторону, обратную направлению перемещения изделий по направляющей.

2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что оси каналов нижней направляю- 0 щей расположены перпендикулярно к рабочей поверхности ее основания.

Изобретение позволяет повысить качество очистки изделий. Очищаемые изделия подаются по направляющим в зону обработки, образованную двумя моечными дисками. Диски расположены соосно один напротив другого и имеют центральные отверстия для подачи через них моющей жидкости на размещаемое между ними изделие. В основаниях направляющих выполнены сквозные каналы. Каналы верхнего основания имеют дугообразную форму, при этом входные отверстия каналов обращены к центру моечных дисков, а выходные - смещены в сторону, противоположную направлению перемещения изделий. Каналы нижнего основания расположены вертикально. Через дугообразные и вертикальные каналы производится отвод отработанной моющей жидкости. 1 з.п. ф-лы, 5 ил.

//

Фиг. 1

фиг. 2

т/3

2 6

1

3

ю

фиг. 3

фуг.

фиг. 5