Устройство для двусторонней очистки плоских изделий Советский патент 1990 года по МПК B08B3/02 

сл

Изобретение относится к очистной технике, может быть использовано в полупроводниковом производстве для двусторонней очистки пластин и позволяет повысить надежность работы устройства. На основании закреплены направляющие 2 и 3. На направляющей 3 установлены вакуумные фиксаторы 4, соединенные посредством трубопроводов с вакуумной сетью с датчиком наличия изделий. В окнах направляющих установлены две пары моечных дисков, закрепленных на полых валах 10 электродвигателей 11. На дисках выполнены отверстия для подачи моющего раствора. Полые валы сообщены с отверстиями на дисках и с системой подачи моющего раствора. Для перемещения пластин между направляющими 2 и 3 через зону обработки служит захват, выполненный в виде гребенки с пазами, соединенной с грейферным механизмом. 3 ил.

7Д

05

о

О5 tsD

О CD

фиг. 1

Изобретение относится к очистной технике и может быть использовано в полупроводниковом производстве для двусторонней очистки плоских изделий.

Цель изобретения - повышение надежности работы устройства.

На фиг. 1 и 2 показано устройство, общий вид; на фиг. 3 - захват.

Устройство для двусторонней очистки плоских изделий содержит закрепленные на основании 1 направляющие 2 и 3. На направляющей 3 установлены вакуумные фиксаторы 4, соединенные через трубопроводы 5 и 6 с вакуумной сетью (не показано) и с датчиком 7 наличия изделий. В окнах 8 направляющих 2 и 3 установлены две пары моечных дисков 9, закрепленных на полых валах 10 электродвигателей П. На дисках выполнены отверстия 12 для подачи моющего раствора, сообщающиеся с полыми вала10

15

вается, вакуумируется второй фиксатор 4, который удерживает пластину на данной позиции. Датчик 7 второго фиксатора подает сигнал на подъем гребенки 13. После подъема гребенки вторая пластина устанавливается между направляющими на первую позицию и фиксируется первым фиксатором 4, а датчик 7 подает сигнал на перемещение гребенки 3 влево, опускание ее и включение двух пар моечных 9, а также на подачу моющих растворов. Далее цикл повторяется.

В случае отсутстзия пластин на позиции перед началом обработки включение вращения дисков и подача моющего раствора не происходят.

Предлагаемое устройство позволяет обрабатывать несколько пластин одновременно. Количество пазов для пластин на гребенке соответствует числу моечных дисков. Конструкция захвата в сочетании с вакуумфиксацию пластин, исключает дение.

их повреж25

30

ми 10, которые связаны с системой подачи 20 ными фиксаторами обес ;,ечивает надежную моющего раствора (не показано). Для перемещения плоских изделий между направляющими 2 и 3 через зону обработки служит захват, выполненный в виде гребенки 13 с пазами 14, соединенной с грейферным механизмом (не показано). Каждый из датчиков 7 соединен с грейферным механизмом.

Устройство работает следующим образом.

Плоское изделие, например пластина, устанавливается в направляющих 2 и 3. Вакуумный фиксатор 4 подключают к сети. При этом пластина фиксируется. Датчик 7 через систему управления (не показана) подает сигнал на вертикальное перемещение грейферного механизма. Гребенка 13 опускается, захватывая в пазы пластину, и электродвигатель отключается. Затем подается сигнал на горизонтальное перемещение гребенки. При этом включаются электродвигатели 11 первой пары моечных дисков 9 и система подачи моющего раствора через полый вал.

После обработки пластины первой парой моечных дисков 9, гребенка 13 останавли35

40

Формула изобретения

Устройство для двусторонней очистки плоских изделий, содержащее по меньщей мере одну пару соосно установленных моечных дисков с отверстиями для подачи моющего раствора, направляющие для прохода изделий в зазоре между дисками и приводной захват для перемещения изделий, выполненный в виде гребенки с пазами для размещения изделий, установленной между направляющими с возможностью вертикального и горизонтального перемещений, отличающееся тем, что, с целью повыщения надежности работы, оно снабжено установленными на одной из направляющих, симметрично относительно моечных дисков в направлении горизонтального перемещения гребенки вакуумными фиксаторами с датчиками наличия изделий, причем каждый из датчиков соединен с приводом захвата.

Фиг. 2

0

5

вается, вакуумируется второй фиксатор 4, который удерживает пластину на данной позиции. Датчик 7 второго фиксатора подает сигнал на подъем гребенки 13. После подъема гребенки вторая пластина устанавливается между направляющими на первую позицию и фиксируется первым фиксатором 4, а датчик 7 подает сигнал на перемещение гребенки 3 влево, опускание ее и включение двух пар моечных 9, а также на подачу моющих растворов. Далее цикл повторяется.

В случае отсутстзия пластин на позиции перед началом обработки включение вращения дисков и подача моющего раствора не происходят.

Предлагаемое устройство позволяет обрабатывать несколько пластин одновременно. Количество пазов для пластин на гребенке соответствует числу моечных дисков. Конструкция захвата в сочетании с вакуум0 ными фиксаторами обес ;,ечивает надежную

фиксацию пластин, исключает дение.

их поврежными фиксаторами обес ;,ечивает надежную

ными фиксаторами обес ;,ечивает надежную

Формула изобретения

Устройство для двусторонней очистки плоских изделий, содержащее по меньщей мере одну пару соосно установленных моечных дисков с отверстиями для подачи моющего раствора, направляющие для прохода изделий в зазоре между дисками и приводной захват для перемещения изделий, выполненный в виде гребенки с пазами для размещения изделий, установленной между направляющими с возможностью вертикального и горизонтального перемещений, отличающееся тем, что, с целью повыщения надежности работы, оно снабжено установленными на одной из направляющих, симметрично относительно моечных дисков в направлении горизонтального перемещения гребенки вакуумными фиксаторами с датчиками наличия изделий, причем каждый из датчиков соединен с приводом захвата.

Фиг.З